ICF分解实验中的平面调制靶.pdfVIP

　第9卷　第4期 强 激 光 与 粒 子 束 . 9, . 4 V o l N o 　1997年11月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S N ov. 9, 1997 ICF 分解实验中的平面调制靶 周　斌　王 珏　沈　军　杜保旗　赖珍荃　邓忠生　张会林　陈玲燕 ( 同济大学波耳固体物理研究所, 上海, 200092) 　　摘　要　介绍采用多次电镀N i 图形转移工艺将激光干涉法获得的耦合在光刻胶表面的 起伏图形进行复制以获得N i 基图形转移模板, 并进一步将表面起伏图形复制到聚苯乙烯薄 膜的表面, 以获得具有表面起伏图形的平面调制靶。为提高图形转移的精度、研究电镀图形转 移工艺和聚苯乙烯薄膜图形复制工艺对表面起伏图形转移精度的影响, 以扫描电子显微镜对 整个图形转移流程进行监控, 比较光刻胶表面图形, 一次、二次电镀转移图形和转移到聚苯 乙烯上图形的形貌。 　　关键词　平面调制靶　电镀　图形转移　扫描电子显微镜 　　瑞利- 泰勒流体不稳定性是激光驱动和X 射线驱动内爆理论和实验中一个重要研究课 题[ 1～ 5 ] , 它是 ICF 实验中在靶物理和相互作用物理两方面迫切需要解决的问题之一。研究表 明, 引起瑞利- 泰勒流体不稳定性的原因有多种, 靶丸表面的不完整性是其中之一, 美国利 弗莫尔实验室的T hom as D ittrich [ 6 ] 经实验研究证明当靶丸表面粗糙度增加时, 中子产额会减 少并使聚变反应减少。如何进一步在理论和实验中明确瑞利- 泰勒流体不稳定性的作用是目 前 ICF 实验中的一个关键问题。采用分解实验是一条可行途径, 通过在平面上人为引入面密 度扰动可模拟由此产生的不稳定性, 因此具有表面起伏图形的平面调制靶的研制及其参数的 精确测定就尤其重要。虽然利用平面调制靶进行的瑞利- 泰勒不稳定性的研究已经取得一系 列结果, 而且已从二维空间调制模拟发展到三维空间调制模拟, 但关于平面调制靶的制备却 很少有系统的报道。 [ 7 ] 　　我们曾报道 采用激光干涉法进行表面起伏平面图形的研制。本文进一步研究采用金属 N i 电镀图形转移工艺将激光干涉工艺获得的耦合在光刻胶表面的起伏图形转移到N i 基衬底 上, 获得具有表面起伏图形的金属N i 模具, 选用合适的聚合物薄膜, 采用热压工艺和我们称 为“流延法”的工艺将金属模具上的表面起伏图形转移到聚合物薄膜上, 获得具有表面起伏图 形的平面调制靶。 1　平面调制靶的制备 　　采用的实验方案是在有机膜上引进正弦表面起伏, 理论研究表明: 不同幅度的表面起伏 影响不同的物理过程, 长波、中波和短波扰动分别影响压缩、壳裂和混合过程, 长波和中波的 扰动可通过人为引进表面起伏图形来模拟。平面调制靶的制备由以下四部分组成: 1. 1　表面调制图形的产生 国家863惯性约束聚变领域资助课题 1997年8月11 日收到原稿, 1997年9月15 日收到修改稿。 周斌, 1970年3月出生, 在职博士研究生 © 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 第4期