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17-1 相 干 光 一、 光程 例题 在双缝实验中，入射光的波长为550nm，用一厚 e =2.85×10－4cm的透明薄片盖着S1缝，结果中央明纹移到原来第三条明纹处，求透明薄片的折射率。 三、薄膜干涉 例3 一平面单色光垂直照射到覆盖着均匀油膜的玻璃板上，设光源波长在可见光范围内可以连续变化，波长变化期间只观察到 500nm和 700nm两个波长的光相继在反射光中消失，已知油膜的折射率为 1.38，玻璃的折射率为1.50，求油膜的厚度。 例2 把折射率n=1.40的薄膜放入迈克耳逊干涉仪的一臂时，由此产生了7条条纹移动，设入射光的波长?=632.8nm，求膜的厚度。 解：油膜上下表面反射的光都有半波损失，且垂直照射，所以光程差为? = 2ne，反射相消的条件是 可解出 k =3 ， k =2 上节内容回顾 平行平面膜?等倾干涉 若垂直入射： 半波损失 S M 17-4 劈 尖 牛顿环 一、劈尖 劈尖角? 设光线垂直入射在劈尖上，劈尖的折射率为n 明纹 暗纹 劈尖干涉 讨 论 1）在棱边处： 为暗纹 （明纹） （暗纹） 厚度相同的点光程差相同，形成同一级次的一条干涉条纹，不同的厚度形成不同的干涉条纹，这种干涉叫等厚干涉。 其它地方，出明纹和暗纹对应的厚度分别为： 劈尖干涉 2）相邻明纹（暗纹）间的厚度差?d 3）相邻明纹（暗纹）中心间距离b 干涉条纹的特点： (1) 是一组平行于棱边、明暗相间、等间距的直条纹。 (2) 劈尖角? 越大， 条纹间距越小；当?大到一定程度时，条纹过密而分辨不清，因此一般要求? 角很小。 讨论题：在下列三种情况下，干涉条纹将发生怎样的变化？ 间距不变 间距不变 变密 2）测膜厚 1）干涉膨胀仪 劈尖干涉的应用 工件表面纹路是凹的 3）检验光学元件表面的平整度 4）测细丝的直径 例1：折射率为n=1.60的两块平面玻璃板之间形成一空气劈尖，用波长?=600nm的单色光垂直照射，产生等厚干涉条纹，若在劈尖内充满n=1.40的液体，相邻明纹间距缩小? l = 0.5mm，求劈尖角?。 解：设空气劈尖时相邻明纹间距为l1，液体劈尖时相邻明纹间距为l2，由间距公式 例2 制造半导体元件时，常需精确测定硅片上镀有二氧化硅薄膜的厚度，可用化学方法把薄膜的一部分腐蚀成劈尖形，用波长? =589.3nm的单色光从空气垂直照射，二氧化硅的折射率 n=1.5，硅的折射率为 3.42，若观察到如图所示的7条明纹。问二氧化硅膜的厚度d =? 解：上下两面都有半波损失，互相抵消，光程差为： 棱边处 e=0 , 对应于 k=0 , 所以厚度为 d 处的明纹对应于 k=6 , 故二氧化硅膜的厚度为: 例3.在半导体元件生产中，为了测定硅片上 SiO2 薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，用波长? =589.3nm的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M 处。已知SiO2 的折射率n =1.46， Si的折射率为3.42，试求SiO2薄膜的厚度。 解：薄膜的厚度e，由暗纹条件 ? = 2ne 第9条暗纹对应于k =8 ∴ e = (2k+1)? / 4n 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 k= 0, 1, 2… Si O M SiO2 = (2k+1）? / 2 二、牛顿环 曲率半径很大的平凸透镜放在平玻璃板上，在其之间形成环状劈形空气层，用单色光垂直照射在平凸透镜上，则可以观察到一组明暗相间的同心圆环，称为牛顿环。 分束镜M 显微镜 平凸透镜 平晶 一束单色平行光垂直照射到此装置上时，所呈现的等厚条纹是一组以接触点O为中心的同心圆环。 实验装置及光路 S . 厚度为d处空气层上下表面反射光程差为： 当 d = 0 时，?=?/2，中心暗斑。 R d 明纹 暗纹 暗环半径 明环半径 r 1）牛顿环属于等厚干涉，但条纹间距不等，为什么？ 2）将牛顿环置于n 1 的液体中，条纹如何变？ 讨 论 暗环半径 明环半径 条纹变密集 3）牛顿环的应用： 测量平凸透镜的曲率半径、测量光波波长等 4 ）下列两种情况下的牛顿环有何不同？ 5 ）如图，牛顿环装置由三种透明材料组成，试分析反射光干涉图样。 左半侧： △= 2nd d = 0 处， △ = 0 形成半圆形 0 级亮斑， 右半侧： △ = 2nd + ? / 2 d = 0 处， △ = ? /2 形成半圆形 0 级暗斑。 迈克耳孙在工作 迈克耳孙（A.A.Michelson） 因创造精密光学仪器，用以进行光谱学和度量学的研究，并精确测出光速， 获1907年诺贝尔物理奖。 美籍德国人 17-