机械工程测控技术基础及系统集成应用 教学课件 作者 屠大维 第二章.ppt

热电式传感器 热电偶串、并联 并联热电偶 串联热电偶 把几个相同型号的热电偶串联在一起，又称热电堆。所有测量端处于同一温度T之下，所有连接点处于另一温度T0之下，输出电动势是每个热电动势之和。 把几个相同型号的热电偶的同性电极参考端并联在一起，而各个热电偶的测量结处于不同温度下，其输出电动势为各热电偶电动势的平均值。 计数编码类传感器 感应同步器 感应同步器是基于电磁感应原理来测量直线或角位移的器件。测量直线位移的称为直线感应同步器，测量角位移的称为圆感应同步器。感应同步器的工作原理是电磁感应原理，感应电动势的大小与激磁电压和两尺的相对位置有关。 感应同步器工作原理 计数编码类传感器 光栅传感器 1、莫尔条纹与光栅测量方程 光栅莫尔条纹的形成 式中：N为条纹变化数， W为栅距， ?1、?2为起点和终点不足一个栅距的部分。 光栅测量方程 莫尔条纹宽度BH 式中：?——两光栅夹角（rad） W——光栅栅距（mm） BH——莫尔条纹宽度（mm）。 计数编码类传感器 2、莫尔条纹的类型 横向莫尔条纹 光闸莫尔条纹 斜向莫尔条纹 3、莫尔条纹的性质 莫尔条纹移动与光栅运动有对应关系 莫尔条纹具有位移放大作用 莫尔条纹具有误差平均效应 计数编码类传感器 4、光栅传感器的结构组成 光栅传感器的结构组成 1-光源 2-聚光透镜 3-主光栅 4-指示光栅 5-光电元件 6-莫尔条纹 7-光强分布 计数编码类传感器 磁栅传感器 1、概念 磁栅传感器是一种位移传感器，可分为长磁栅和圆磁栅传感器，分别用来测量线位移和角位移。 2、特点 磁栅式位移传感器具有较高精度，可以达到?0.01mm/m，分辨率为1?5?m；但磁信号的均匀性、一致性及稳定性对磁栅式位移测量的精度的精度影响较大。 计数编码类传感器 光电编码器 绝对式光电编码器工作原理 编码器又称码盘，是一种数字式角位移传感器。其优点是结构简单、可靠性高，在空间技术、数控机械系统等方面有广泛应用。按其工作原理可分为电触式、电容式、感应式、光电式等。光电编码器有增量式和绝对式两种。 增量式编码器工作原理 压电式传感器 压电式传感器的应用 压电式单向力传感器 压电式加速度计结构图 磁电传感器 磁电感应式传感器 1、工作原理 磁电式传感器也称感应式传感器，或称电动式传感器。它是利用导体和磁场发生相对运动而在导体两端输出感应电动势的，是一种机-电能量变换型传感器。 2、恒定磁通式 恒定磁通式的一些基本结构 式中l——每匝线圈的平均长度；  B——线圈所在磁场的磁感应强度；  S——每匝线圈的平均截面积 。 磁电传感器 动圈磁电式传感器等效电路 等效电路的输出电压为 磁电传感器 3、变磁通式 变磁通式磁电感应式传感器结构原理图 磁电传感器 4、磁电式传感器的应用 绝对式速度传感器结构示意图 相对式速度传感器结构图 磁阻式传感器工作原理及应用 a）测频数 b）测转速 c）测偏心 d）测振动 磁电传感器 霍尔传感器 1、霍尔效应 霍尔效应示意图 霍尔电势 kH—灵敏度系数 α—磁场和薄片法线的夹角 如图，半导体薄片置于磁场中，当有电流流过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势，这种物理现象称为霍尔效应。 磁电传感器 霍尔传感器 2、霍尔传感器 霍尔元件 基于霍尔效应工作的半导体器件称为霍尔传感器，霍尔传感器多采用N型半导体材料。 3、测量电路 霍尔元件基本测量电路 磁电传感器 霍尔传感器 4、霍尔传感器的应用 霍尔传感器最直接的应用是用来测量磁场强度，此外还可间接用来测量产生或影响磁场的物理量，如力、位移、速度、加速度等参量。 钢丝绳断丝检测 霍尔转速传感器 光电传感器 光电效应 所谓光电效应即是由于物体吸收了能量为E的光后产生的电效应。光电效应又可分为：外光电效应、内光电效应、光生伏特效应。不同的光电元件取决于不同的光电效应。 内光电效应 光电效应 外光电效应 光生伏打效应 能量控制型 能量转换型 光电传感器 外光电效应 在光照作用下，材料内的电子从表面逸出的现象称为外光电效应，也称光电子发射效应。光电管及光电倍增管即是基于这一效应。 爱因斯坦光电效应方程式： 式中：h——普朗克常数（h=6.626×10-34J?s）； m——电子质量（m=9.109×10-31kg）； ?——入射光频率；?——电子逸出