机械工程测试技术 教学课件 作者 许同乐 第三章 常用传感器技术2010 2011.pptVIP

3. 磁敏管 霍尔元件和磁敏电阻均是用N型半导体材料制成的体型元件，而磁敏二极管和三极管则是PN结型的磁电转换元件。这种元件检测磁场变化的灵敏度很高（高达10V/（mA·T）），约为霍尔元件磁灵敏度的数百倍至数千倍；且能识别磁场的方向，体积小、功耗小。它们很适合检测微弱磁场的变化，可用于磁力探伤仪和借助磁场触发的无触点开关，也可用于非接触位移、转速等的测量。 二、热敏传感器 半导体热敏电阻是利用电阻值随温度变化的特性测量温度。 热敏电阻的测温范围一般在-50℃~+300℃（高温热敏电阻可测+700℃，低温热敏电阻可测到-250℃），特性呈非线性，使用时一般需要线性补偿。 不同的热敏电阻材料，具有不同的电阻-温度特性，按温度系数的正负，将其分为正温度系数热敏电阻、负温度系数热敏电阻和临界温度系数热敏电阻。 各热电阻的温度特性温度特性曲线如图 （1）负温度系数热敏电阻（NTC） 其电阻随温度升高而降低，通常将NTC称为热敏电阻，其电阻-温度特性可用如下经验公式描述： 式中 RT ——绝对温度为T时热敏电阻的阻值； ——绝对温度为T0时热敏电阻的阻值； BN ——负温度系数热敏电阻的热敏指数。 （2）正温度系数的热敏电阻（PTC） 它的电阻随温度增加而增加，其电阻与温度的关系近似如下： 式中 RT ——绝对温度为T时热敏电阻的阻值； ——绝对温度为T0时热敏电阻的阻值； BP ——正温度系数热敏电阻的热敏指数。 （3）临界温度系数热敏电阻（CTR） 其特点是在某一温度时，电阻急剧降低，故可作为温度开关。 热敏电阻结构： （a）结构 （b）符号 热敏电阻的结构形式 三、气敏传感器 气敏传感器是能够感知环境中气体成分及其浓度的一种敏感器件，它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号，根据电信号的强弱便可测得气体在环境中的相关信息，从而可实现检测、监控、报警等任务。 半导体式气敏传感器可分为电阻式和非电阻式，电阻式使用较为广泛。 电阻式气敏传感器是用氧化锡（SnO2）、氧化锌（ZnO）等氧化物材料制作成敏感元件，利用敏感元件接触气体时其电阻值的变化来检测气体的成分或浓度的。 工艺简单，价格便宜、对气体浓度变化响应快、低浓度灵敏度高等优点，广泛用于液化石油气、管道煤气等可燃性气体的泄露检测、定限报警等。 四、湿敏传感器 精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，气象预报、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用。 湿度传感器依据使用材料分类： 电解质型：以氯化锂为例，它在绝缘基板上制作一对电极，涂上氯化锂盐胶膜。氯化锂极易潮解，并产生离子导电，随湿度升高而电阻减小。 陶瓷型：一般以金属氧化物为原料，通过陶瓷工艺，制成一种多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值对空气中水蒸气的敏感特性而制成。 高分子型：先在玻璃等绝缘基板上蒸发梳状电极,通过浸渍或涂覆,使其在基板上附着一层有机高分子感湿膜。有机高分子的材料种类也很多,工作原理也各不相同。 单晶半导体型：所用材料主要是硅单晶，利用半导体工艺制成。制成二极管湿敏器件和MOSFET湿度敏感器件等。其特点是易于和半导体电路集成在一起。 半导体陶瓷湿敏传感器 基本原理是：水分子在陶瓷晶粒间界面的吸附可离解出大量的导电离子，这些离子起着运输电荷的作用，导致材料电阻下降。大多数半导体陶瓷材料属于负感湿特性的半导体材料，其阻值会随着环境湿度的增加而降低。 第十节 其它类型传感器 在工程测试领域中经常应用的几种新型传感器，1）CCD图像传感器 2）红外辐射传感器 3）超声波传感器。 1）固态图象传感器：一种固态集成元件，其核心部分是电荷耦合器件（Charge Coupled Device，简称CCD）。 CCD：以阵列形式排列在衬底材料上的金属——氧化物——硅（Metal Oxide Semiconductor，简称MOS）电容器件组成的，具有光生电荷、积蓄和转移电荷的功能。 当在金属电极上施加一正电压时，在电场的作用下，电极下面的P型硅区域里的空穴将被赶尽，从而形成耗尽区。也就是说，对带负电的电子而言，这个耗尽区是一个势能很低的区域，称为“势阱”。如果此时有光线入射到半导体硅片上，则在光子的作用下，半导体硅片上就形成电子和空穴，由此产生的光生电子被附近的势阱所吸收(或称俘获），而同时产生的空穴则