激光在化学中的应用.docVIP

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  • 2017-08-21 发布于重庆
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激光在化学中的应用.doc

激光在化学中的应用 激光(LASER)是上纪60年代发明的一种光源,是一种崭新的光源,是由激光器产生的“种光”, 激光有很多特性:首先,激光是单色的,或者说是单频的,有一些激光器可以同时产生不同频率的激光,但是这些激光是互相隔离的,使用时也是分开的;其次,激光是相干光的特征,其所有的光波都是同步的,整束光就好像一个“波列”;再次,激光是高度集中的,也就是说它要走很长的一段距离才会出现分散或者收敛的现象,它的亮度最高,具有相当大的能量。近年来激光在化学中的应用也越来越广泛,随着各类激光器的研制与发展,激光化学的基础与应用研究正在向实用化纵深发展。接下来就从以下几个方面介绍激光在化学中的一些应用。 一、激光化学气相沉积法 激光化学气相沉积法(Laser Chemical Vapour Deposition)(LCVD)是在真空室内放置基体,通入反应原料气体,在激光束作用下与基体表面及其附近的气体发生化学反应,在基体表面形成沉积薄膜。他具有以下几个优点:1、沉积温度低对于大多数材料可在500℃以下,甚至室温即可沉积成膜。对温度敏感的基体材料,如聚合物、陶瓷、化合物半导体等,若用常规CVD可能发生熔化、开裂或分解。激光化学气相沉积由于基体温度低,减少了因温升引起的变形、应力、开裂、扩散和夹杂等弊病,在不高的沉积温度下,就可得到高质量的薄膜和较高的沉积速度

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