CATV光接收探测器无透镜工艺与有透镜工艺技术探讨.pdfVIP

．-．≮兰蛰‰． CCBN2012论文集 CC翻qa岛静 CATV光接收探测器无透镜工艺与有透镜工艺技术探讨 成都天润光电有限责任会司邓焰 关键词：无透镜响应度回损可靠性 一、 CATV光探测器无透镜耦合工艺的历史 1无透镜耦合工艺的历史及工艺发展 CATV光探测器的无透镜耦台工艺起源于1997年武汉电信器件有限公司(WTD、武邮 科院子公司)，当时应荷兰E利浦公司的要求，需要研发的一款高可靠性、高响应度、高回 损的CATV用光探测器。积方经过多层次技术沟通，反复论证，晟后确定了WTD提出的无 透镜耦合工艺，并成功研发出样品。晟后，通过取方严格的可靠性测试，该工艺设计的撩测 器于2000年左右开始大批量生产，供飞利浦公司使用。在后续的市场推广中被日本NEC、 欧美、国内知名大厂接受，累计出货约近1009万只。 单介绍无透镜耦合工艺。 无透镜耦台工艺原理图如下(图一)所示： 无透镜PIN管示意图 W 管 TD 尢透镜工艺，采用金属化光纤(光纤上面镀金)用焊锡直接焊接到镍管上，光纤直接对准 探测器管芯进行耦台，使得光纤、探测器等元件在封闭好环境中工作，确保器件满足客户的 高可靠性要求， 此工艺设计的优点在于：可靠性高．响应度高，回损指标好，暗电流小等。但是．随着 国际金价的不断提高，高成本的缺点也随之显现。 3在满足客户高标准要求的情况下．降低成本是成都天润光电有限公司不懈的追究。 经过多年的潜心研究并请教多位业内知名专家指点，成都天润光电有限公司(以下简称 低成本的无透镜光电探测器。其结构原理图如下(囤二)所示： ．一鼍塑銎‰．． CC8H0马静 CCBN2012论文集 无透镜PIN管示意图二 此结构设计利用成鼎的撤光焊接工艺和粘胶工艺，取代了昂贵的镀金工艺和焊锡工艺。 成本大幅降低的同时，满足了客户低成本、高可靠性，高响应度、高回损、小暗电流的要求。 甚至，由于生产工艺的简化．可靠性提高，个别关键指标还优于同类产品。经过Tec咖d 公司和客户端严格的可靠性测试，取得了市场认同。目前，此方案设计的探测器市场销售数 量已超过100万只。 二、无透镜耦合工艺与有透镜耦合工艺的区别 骶” 刊l牵固■■扫 刀一1。＼ ，．．≮釜鬻‰．． CCBN2012论文集 CCBN2(匀留 无透镜工艺可靠性技术保障 有透镜工艺可靠性及其技术保障 · 烈GAAS平面探测器表面特殊S102钝·TO帽确保管芯工作在氮气环境，封焊 化技术保障，确保管芯工作在非空气环境 技术保证密封 簟激光焊工艺保证光纤固定 ·激光点焊接工艺保证光纤固定 簟 电阻焊工艺及其密封胶工艺保证光纤 ·激光点焊处非密封，点焊存在潮湿空 到探测器整个光路密闭 气污染光纤端面或者透镜表面的可能 ·高温烘烤去除湿气 ·9微米光纤对准透镜汇聚点进行耦合， ·9微米光纤直接对准75微米光敏面耦光纤若有位移响应度会大幅度下降 合，即便光纤有位移依然不会影响指标。 ·可靠性试验报告 可靠性试验报告 响应度高，批量可满足R大于0．9