压电驱动微阀和微泵集成结构的设计和分析.pdfVIP

2005年to月 第三届全国徽全分析系统学术会议论文集 湖北武汉 压电驱动微阀与微泵集成结构的设计与分析 耿照新，崔大付，，王海宁，刘长春，陈兴 (中国科院电子学研究所传感技术国家重点实脸室，北京 100080) 摘要:设计出用PDMS作为泵膜的压电驱动集成微阀与微泵.具有结构简单、易于加工、操作方便 的特点，给出几何参数、工作的原理和工艺流程. 关健词:压电:微泵;微阀:PDMS 1引言 由于硅的弹性模量比较高，为了提高泵膜的位移，许多研究者的做法是尽量减小泵膜和阀片的 厚度，硅薄膜容易遭到破坏的，导致成品率非常低。同时这样的微型泵工作过程中容易出现截流性 能不好，阀片开启压力、工作压力、额定流量及反向泄露等都不很理想1-【61。虽然扩散管/收缩管结 构的扩散式结构微泵的原理新颖，但是回流现象严重。 本文所研究的是利用压电陶瓷作为驱动器，将主动微型阀与微型泵结构做成一个整体，具有结 构简单、易于加工、操作方便等特点。 2结构的设计与工作原理 针对目前的研究情况，设计出一种扩散管/收缩管与主动阀相结合的新型微泵与微阀，用PDMS 作泵膜，其机械性能优良，泵膜在竖直方向上可以有更大的位移，而且PDMS薄膜的加工工艺简单， 具有较长的使用寿命。由于其良好的延 主动阀片 伸性，粘贴、封装时都不易损坏，从而 大大降低了封装难度并提高了成品率。 其结构如图】所示，芯片整体尺寸是9 X9X1.5mm3。其组成是由扩散管/收缩 管、泵膜 (也是阀片和缓冲单元)、泵 腔和双晶压电梁。当PZT上加一个直流 电压时，PDMS将压紧扩散口:加反向 缩 口1扩散 直流电压时，扩散口打开液体流过。这 样就压电主动阀的工作过程。当PZT上 图1集成压电微泵与微阀结构 Fig.]Structureofintegratedmicropumpnadmicrovalve 加方波交流信号时，扩散口会在PZT的 周期性振动下被 PDMS周期性堵住与 打开，收缩口一直处于打开状态，由于PDMS在周期的驱动力下作周期性振动，使得泵腔体积作周 期性变化，从而实现微泵的吸入与泵送的工作模式，如图2(a-d)所示。当驱动频率与PDMS泵 膜的谐振频率相差较大时，由于PDMS在泵送时中部受到扩散口的阻碍作用，将扩散口封住，四周 的PDMS与液体的相互祸合作用，会振动不同步，将更多的液体收缩口排出，如图2(e)所示，提高 了微泵的工作效率和单位时间内的流量。 3制作工艺 制作工艺如图3，下片__〔艺 (a)LPCVD方法长氮化硅，光刻，RIE刻蚀正面氮化硅，用KOH 溶液腐蚀20gm深的泵腔和阀座 (b)LPCVD方法长氮化硅:(c)双面光刻,，RIE刻蚀出扩散口的图 通讯联系人:崔大付 基金项目:国家自然科学重大甚金项目(No;国家自然科学基金重点项目(No.604270001) 2005年 10月 第三届全国徽全分析系统学术会议论文集 湖北武汉 形,，KOH湿法腐蚀去液体的出、入扩散口。上片工艺:(d)LPCVD方法长氮化硅，蒸铝，光刻，磷 酸去铝，RIE去氮化硅;(e)硅片背面摔上一层PDMS;(f)DRIE将硅刻去，做出圆形PDMS泵 月莫(或阀片)。 上片、下片和PZT，使用密封胶将其封装成如图1所示的结构，放置24小时，然后将封装好的 集成式微阀与微泵的芯片安装在设计好的PCB电路板上，并安上输入与输出导管，便于测试和使用。 a标准状态 b吸入状态 c压缩状态 d泵送状态 e PDMS 谐振状态 (A) 下片工艺流程