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第30卷第5A期 计 量 学 报 V01.30.№5A 2009年10月 ACTAMETROLOGICASINICA October,2009 doi:10.3969/j.issn.1000·1158.2009.z1.017 空气弹簧隔振平台调平精度影响因素分析 满 楠, 禹 静, 李东升, 张 雯 (中国计量学院计量测试工程学院,浙江杭州310018) 摘要:针对四个空气弹簧支撑的隔振平台自动调平系统产生误差的原因进行了较全面地分析。从倾角传感器 本身精度、安装误差、零漂及温漂、气动滞后性、电磁阀响应频率等方面对调平系统精度的影响进行了详细介绍,并 最终定量地给出了这螳因素造成的误差。最后针对上述误差及其产生的原因提出了相应的补偿对策,进而为提高 空气弹簧隔振平台调平精度探测出一条有效途径。 关键词:计量学;空气弹簧;平台调平;误差;精度;倾角传感器 中图分类号:TB92 文献标识码:A 文章编号:1000-1158(2009)5A-0068-04 PlatfOrm Precision oftheAir VibrationIsolation Leveling Analysis Spring MAN YU ZHANGWen Nan, Jing,LIDong—sheng, of andMeasurement 3 University,Hangzhou,Zhejiang10018,China) (CollegeMetrology Engineering,ChinaJiliang reasonsoftheerrorsoftheautomatic invibrationisolation four Abstract:The by levelingsystem platformsuppoaed air is oftheair vibrationisolation influenced oftilt springsanalyzed.Thelevelingprecision spring platform byprecision and ofthe$ensorand of excursion excursionofthe a119le8enBor,zero temperature sensor,installation responsefrequency 80 causedthesefactorswere forward solenoidvalveand on啪described thentheerrors detailedly.and by put air vibrationisolation aeffective for of

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