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第27卷第6期增刊 仪器仪表学报 V01.27No.6
2006年6月 ofScientificInstrument June.2006
ChineseJournal
MEMS微针研究*
贾书海1 李以贵2 朱 军2 孙 潇1
1(西安交通大学理学院光信息科学与技术系西安 710049)
2(上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030)
摘要MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键。本文探讨了MEMS微针的
研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题。
关键词 微电子机械系统(MEMS)微针高深宽比
MEMS
Researchon microneedle
Li Sunxia01
JiaShuhail ZhuJun2
Yigui2
1(SchoolScience,XianUniv.,Xian710049,China)
of Jiaotong
2(ResearchInstituteMicroNanometerScienceand
of Technology,
200030,China)
ShanghaiJiaotongUniv.,Shanghai
AbstractMEMSmicroneedleisa hot of isthe torealizethe
actual research.It drugdelivery,
point key painless
ofMEMS
bloodtestsand ofmedicalexaminationsand researchadvance
painless integration monitoring.The
microneedleisdiscussedinthis someresearchresultsofMEMSmicroneedleareshown.The
paper,and key
canbeusedin alsodiscussedinthis
shouldbesolvedbeforeMEMSmicroneedle
problems,which practice,are
paper.
wordsmicroele
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