MEMS微针研究的论文.pdfVIP

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第27卷第6期增刊 仪器仪表学报 V01.27No.6 2006年6月 ofScientificInstrument June.2006 ChineseJournal MEMS微针研究* 贾书海1 李以贵2 朱 军2 孙 潇1 1(西安交通大学理学院光信息科学与技术系西安 710049) 2(上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030) 摘要MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键。本文探讨了MEMS微针的 研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题。 关键词 微电子机械系统(MEMS)微针高深宽比 MEMS Researchon microneedle Li Sunxia01 JiaShuhail ZhuJun2 Yigui2 1(SchoolScience,XianUniv.,Xian710049,China) of Jiaotong 2(ResearchInstituteMicroNanometerScienceand of Technology, 200030,China) ShanghaiJiaotongUniv.,Shanghai AbstractMEMSmicroneedleisa hot of isthe torealizethe actual research.It drugdelivery, point key painless ofMEMS bloodtestsand ofmedicalexaminationsand researchadvance painless integration monitoring.The microneedleisdiscussedinthis someresearchresultsofMEMSmicroneedleareshown.The paper,and key canbeusedin alsodiscussedinthis shouldbesolvedbeforeMEMSmicroneedle problems,which practice,are paper. wordsmicroele

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