多节电极定向耦合型电光开关研究.pdfVIP

第五届伞国颦料光纤、聚合物光子学会议论文集 中国·长春2009年8．玎17同一20日 多节电极定向耦合型电光开关的研究1 郑红丽，孙小强，高磊，康彩萍，王菲，张大明+ (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，长春，130012) 摘要：本文介绍了定向耦合型电光开关的原理，在利用溶胶．凝胶法制备的电光材料上制备了PMMA 材料的定向耦合型光波导，并得到了明显的光耦合输出，设计了一种异面电极结构，并通过在波导 调制区的三节电极与下面的异面电极共同作用得到了在10kHz下光强信号随外加电压的变化曲线。 关键词： 定向耦合；有机，无机杂化材料；聚合物 0 引言 光纤通信与人们的生活已经密不可分，随着人们生活水平的日益增长，对光信息网络的要求也 越来越高，因此研制大容量、性能高且稳定、成本低廉的光学器件具有重要意义，电光开关和电光 调制器作为光纤通讯重要器件其研究进展备受人们关注。相对于无机和半导体领域其它材料，电光 极化聚合物虽然在研究之初存在着耐热性能差，易产生热分解等缺点，但是其非线性系数大、非线 性响应快、容易加工等优点…，在光电子技术的电光调制、光倍频等方面具有很好的应用前景。 本文采用了有机／无机杂化材料作为电光层，在其上面加载了定向耦合型光波导，在1550rim波 长下获得了较好的耦合输出，通过在HF酸腐蚀Si的下表面蒸镀铝做下电极，上下电极加载电信号 获得了光强随调制电压的变化曲线，经电晕极化后的器件在室温下20天调制效果不变，稳定性较好。 1定向耦合型电光开关的结构和原理 的波长相关性较强，无法实现多波长输入情况下的平坦输出乜1，而定向耦合型的基本结构能够实现更 小的插入损耗，更好的波谱平坦性b1。 Electrodes 3 4 2 ‘ Couplinglength 图1 定向耦合型电光开关结构俯视图 如图1所示这种开关是由一对靠得很近的条形光波导，以及分布在条形光波导上的表面电极构 成。定向耦合波导间距很小，由于消逝场的作用实现一臂到另一臂的耦合输出，而加上合适的电场 后通过开关电极的作用改变波导的传播特性和促进两波导间的横向光耦合。以一个耦合长度内的一 节电极为例，在光的一个耦合周期的长度内，当电极上无电压时，一个波导内传播的光完全耦合到 另一个波导传播，最终导致原波导无光输出，此状态为交叉输出。当电极上有电压时，进入一个波 导内的光，耦合后将完全再返回原波导传播和输出，此状态为直通输出。这种方式既可作为强度调 制，又可作为光开关。 1国家重点基础研究发展规划(973)项目(项目号：2006CB302803)资助 ’通信联系人：张大明Emaii：zhangdm@,ilu．edu．cn电话：0431 第五届夸田塑科光纤、雅台钫光}学去波论置蜒 中国·K春2009年8月17目—i0日 对十单节电妊结构的定向耦合器要获得完全的开荒作用，耦合波导段的长度的准确性要求报严． 其耦合长度必须精确等{。I-o(100％能量交换的最短距离)的整数倍，这就对制作工艺蓝水很高．m 在多竹电极情况下，任意给定一个耦合长度(大十L0)，总nr以通过调整电压来实现直通以及交义 状态，耦台长度的数值不需要很精确．只需要保证在某一范围内即可．其误差可以通过调整1：作电 压来补偿…，实验中我1f】采用王电撮结构进行了开荚波导的制备。 2定向耦合型波导开关的制备与测试 21波导和电极的期备 我们所采用的器件结构如图2所示，利用金属／半导体的欧姆接触形成下电极，实验窜采用重掺 杂的Si真空蒸镀铝形成A昨-Si的欧姆接触，然后以Si基sI仉为衬底进行加藏条形波导的制作。 ／㈣“ …、1^Ⅷ^