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电子测量与仪器学报 2009年增刊
RF 的研究
MEMS移相器馈电网络
傅佳辉昊群
(哈尔滨工业大学电子与信息技术学院，哈尔滨150001)
翦要：提出一种RF
电可以通过MAM电容，空气桥和偏置线来实现的。通过这种方法，不但实现了数字式控制，而且引入相对稳定的电容值，
改善了开态和关态的电容比，提高了MEMS移相器的性能。
关键字：MEMS：移相器：馈电；删
中图分类号lTIC／文献标识码。A
The of MEMSPhaseshifterfeednetwork
Millimeter-wave
Study
FuJiahui
WuQun
(HarbinInstitutes Harbin150001)
oftechnology
Abstract：FeednetworkofRFMEMSshifteris inthiswork．TheIVlAM is inMEMSswitch．The
phase presented capacityplated
feednetworkis M^M andbias this controlisrealizedandintroduced
composedby capacity,airbridge lines．Usingmethod,digital
IVIEMSshifter．
morestable value．It ratios anddown and ofRF
capacity improvesofopen capacitiesperformance phase
Shifter；,Feed；MAM
Keywords：MEMS；Phase
$IUJn载在中心带条的直流偏置电压，来控制金属
1引言
桥的高度，从而改变传输线的分布电容，以及传
输线的传播常数、特性阻抗等，从而达到改变相
随着商业和军事系统日益向小型化、智能化
移的日的。目前正在研制的MEMS移相器按相移
和灵活化系统的发展，对于低花费、重最轻和高
量的变化方式，主要分为两类：一类是相位连续
性能大线的设计需求也日益增加。相控阵天线是
可调的分布式MEMS移相器，模拟控制的MEMS
相控阵雷达的关键，它在雷达、通信、电子战等
移相器具有相位连续可调的特点，因而可更灵活
领域有着非常重要应用。而相控阵天线关键组成
的控制天线阵的波束，但模拟控制偏压的起伏变
部分是无源移相器，传统移相器通常使用p-i．n
化易引起相位噪声。另一类则是数字型移相器，
二极管、MESFETs或者PHEMT作为开关在不同
它可以精确的控制相移量和插入损
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