检测技术 教学课件 作者 卜云峰 主编 第九章.ppt

* 五、高分子湿度传感器 用有机高分子材料制成的湿度传感器，主要是利用其吸湿性与胀缩性。某些高分子电介质吸湿后，介电常数明显改变，制成了电容式湿度传感器；某些高分子电解质吸湿后，电阻明显变化，制成了电阻式湿度传感器；利用胀缩性高分子（如树脂）材料和导电粒子，在吸湿之后的开关特性，制成了结露传感器。 （一）电容式湿度传感器 1、结构 高分子薄膜电介质电容式湿度传感器的基本结构。 高分子薄膜 上部电极 下部电极 * 2、感湿机理与性能 电容式高分子湿度传感器，其上部多孔质的金电极可使水分子透过，水的介电系数比较大，室温时约为79。感湿高分子材料的介电常数并不大，当水分子被高分子薄膜吸附时，介电常数发生变化。随着环境湿度的提高，高分子薄膜吸附的水分子增多，因而湿度传感器的电容量增加．所以根据电容量的变化可测得相对湿度。 * （2）响应特性 由于高分子薄膜可以做得极薄，所以吸湿响应时间都很短，一般都小于5s，有的响应时间仅为1s。 （3）电容一温度特性 电容式高分子膜湿度传感器的感湿特性受温度影响非常小，在5℃～50℃范围内,电容温度系数约为0.06％RH/℃ 相对湿度/% 0 50 100 200 250 300 350 电容—湿度特性 C/pF （f=1.5MHZ） （1）电容—湿度特性 其电容随着环境温度的增加而增加,基本上呈线性关系。当测试频率为l.5MHz左右时,其输出特性有良好的线性度。对其它测试频率,如1kHz、10kHz，尽管传感器的电容量变化很大,但线性度欠佳。可外接转换电路,使电容—湿度特性趋于理想直线。 * （二）电阻式高分子膜湿度传感器 1、结构 聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器的结构。 引线端 感湿膜 聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器的结构 梳状电极 基片 * 2、主要特性 （1）电阻—湿度特性 当环境湿度变化时，传感器在吸湿和脱湿两种情况的感湿特性曲线，如图。在整个湿度范围内，传感器均有感湿特性，其阻值与相对湿度的关系在单对数坐标纸上近似为一直线。吸湿和脱湿时湿度指示的最大误差值为(3～4)％RH。 1K 30 40 50 60 70 80 90 吸湿 10K 100K 1M 10M 相对湿度/% R/Ω 脱湿 Δ±3%RH 电阻—湿度特性 * （2）温度特性 聚苯乙烯磺酸锂的电导率随温度的变化较为明显，具有负温度系数。在(0～55)℃时，温度系数为(–0.6％～–1.0％)RH/℃。 0 40 20 104 60 80 100 50℃ 10 102 103 聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器的湿度特性 25℃ 40℃ R/Ω 相对湿度/% * （3）其它特性 聚苯乙烯磺酸锂湿度传感器的升湿响应时间比较快，降湿响应时间比较慢，响应时间在一分钟之内。湿滞比较小，在(1％～2％)RH之间。这种湿度传感器具有良好的稳定性。存储一年后，其最大变化不超过2％RH，完全可以满足器件稳定性的要求。 高分子薄膜湿度传感器的缺点是：对于含有机溶媒气体的环境下测湿时，器件易损坏；另外不能用于80℃以上的高温。 * 六、湿度传感器的测量电路 （一）检测电路的选择 1、电源选择 一切电阻式湿度传感器都必须使用交流电源，否则性能会劣化甚至失效。 电解质湿度传感器的电导是靠离子的移动实现的，在直流电源作用下，正、负离子必然向电源两极运动，产生电解作用，使感湿层变薄甚至被破坏；在交流电源作用下，正负离子往返运动，不会产生电解作用，感湿膜不会被破坏。 交流电源的频率选择是，在不产生正、负离子定向积累情况下尽可能低一些。在高频情况下，测试引线的容抗明显下降，会把湿敏电阻短路。另外，湿敏膜在高频下也会产生集肤效应，阻值发生变化，影响到测湿灵敏度和准确性。 * 2．温度补偿 湿度传感器具有正或负的温度系数，其温度系数大小不一，工作温区有宽有窄。所以要考虑温度补偿问题。 对于半导体陶瓷传感器，其电阻与温度的的关系一般为指数函数关系，通常其温度关系属于NTC型，即 H：相对湿度； T：绝对温度； R0：在T=0℃相对湿度H=0时的阻值； A：湿度常数；B：温度常数。 温度系数＝ 湿度系数＝ 湿度温度系数＝ 若传感器的湿度温度系数为0.07％RH/℃，工作温度差为30℃，测量误差为0.21％RH/℃，则不必考虑温度补偿；若湿度温度系数为0.4％RH/℃，则引起12％RH/℃的误差,必须进行温度补偿。 * 3．线性化 湿度传感器的感湿特征量与相对湿度之间的关系不是线性的，这给湿度的测量、控制和补偿带来了困难。需