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第 26卷第 11期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．26，NO．11 2014年 11月 HIGH POW ER IASER AND PARTICIE BEAMS NOv．，2O]i 一 种校正相位测量轮廓术量化误差的算法 赵 静 ， 吴 炜 ，郑晓军。， 刘 凯 (1．四JI大『学 电气信息学院，成都 610064； 2．四川大学 电子信息学院，成都 610064； 3．四JI省『产 品质量监督检验检测院，成都 610100) 摘 要 ： 为 了减小相位测量轮廓术 中因数字化设备 内部结构的量化处理过程 引起 的相位量化误差，提高 相位测量精度 。针对相位测量精度要求较高且表面凹凸变化不大的被扫描物体提出了一种能够有效校正相位 测量轮廓术量化误差的算法，测量相位中的每一个像素点利用其相邻像素点进行校正。实验结果显示，校正之 后 ，相位量化误差标准差减小了41．38 ，相位测量 的精度得到了提高。 关键词 ： 相位测量轮廓术 ； 量化 ；