静电防护的具体措施.pdfVIP

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静电防护的具体措施.pdf

静电防护的具体措施 1 建立静电安全工作区 在具体的制造过程中,建立静电安全工作区,采用各种控制方法,将区域内可能产生的静电 电压保持在对最敏感的元器件都是安全的阈值下。 一般来说,构成一个完整的静电安全工作区,至少应包括有效的导电桌垫、专用接地线、防静 电腕带、地垫以对导体(如金属件、导电的带子、导电容器和人体等)上的静电进行泄放。同上, 配以静电消除器,用于中和无法绝缘体上积累的电荷,这些电荷在绝缘体上不能流动,无法用泄 漏接地的方法释放掉。图2.10是一典型的安全工作区示意图。 图 2.10 典型的安全工作区示意图 在静电安全工作区中有一个十分重要的参数是静电安全泻放电阻。虽然单从区域内静电泻放的速 度方面考虑,泻放电阻越小越好,但受到两个方面的限制。最主要的是要给工作去内的操作人员 提供防电击条件,根据人体电击时有能力脱离险境的极限电流(10-16mA)的要求,取安全电压 为 5mA 进行计算, 由 R=U/A 4 4 5 设U=220-380V,得R=4.4×10 -7.6×10 W。则R值应取大于1.0×10 W。 而另一方面的限制是如果电阻很小,泻放速度很快,对已带有静电的器件来说,则会发生泻放电 流过大导致器件损伤,反而不安全。 那么安全电阻的上限是怎么确定的呢?是由一秒钟内将 5000V静电电压衰减到100V安全电压的 最大容许接地电阻值决定的。根据式: U=U e-t/RC, 0 9 取U =5000V, U=100V,t=1S,C=200pf,可得R=1.28×10 W。 0 9 因此,安全区内的安全泻放电阻一般要保证小于10W,即无论是桌垫、地垫还是接地腕带,只要 其系统电阻值小于109W,即可保证在 1S内放电至安全电压值,这就大大减少了敏感器件在静电 作用下损坏的机会。 根据实际情况的不同,可建立表2.2所列的不同等级的静电安全区。表 2.3 是静电安全区的典型 数据。 表 2.2 静电安全区等级 等级 防护区的静电电位最高限值 1 100V 2 500V 3 1000V 表 2.3 静电安全区的典型数据 项目 理论值 工程值 5 9 5 7 静电安全系统回路电阻值 10 ~10 W 10 ~10 W 5 8 6 静电安全系统支路电阻值 10 ~10 W 10W 接地母线电阻值 4~100W =4W 空气相对湿度 =20% 40%~70% 静电泄漏时间 1s 0.1s 臭氧含量 50ppb 50ppb 静电中和能力

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