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离子注入机原理01 11,09.ppt

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赵剑涛 2011,11,09 一、两种基本离子输送模式 第一种是:小流量,细束扫描模式。 离子束流:1mA。 第二种是:大流量,宽束照射模式。 离子束流:60mA。 二、HCS系统的离子束控制部分 Beam optics( 离子束光学装置) 1、HCS中,Extraction一次加速。太阳能电池 制作所需能量够用。 2、第一个四极磁透镜quadrupole 1 Plus mode 水平扩展,竖直压缩。 一方面,水平需要扩展,不扫描。 另一方面,竖直方向压缩有利于离子束穿过分析器不容易碰到磁极。 *

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