现代检测技术李英顺电子教案 第8章.pptVIP

四、压电式压力传感器 图8-9所示为 压电式压力传感器 的结构，压电元件夹于两个弹性膜片之间，压电元件的一个侧面与膜片接触并接地，另一侧面通过引线将电荷量引出。被测压力均匀作用在膜片上，使压电原价按受力而产生电荷。电荷量一般用电荷放大器或电压放大器放大，转换为电压或电流输出，输出信号与被测压力值相对应。 合理的设计使压电式压力传感器体积小，结构简单，具有较强的抗干扰能力，测量范围宽等特点，所以是一种应用较为广泛的测力传感器。但它不能测量频率太低的被测量，特别是不能测量静态参数，因此目前多用来测量加速度和动态力或压力。 图8-9 压电式压力传感器结构 一、压电效应 二、压电元件 三、接口电路 四、压电式压力传感器 压电式传感器的工作原理是以某些物质的压电效应为基础，压电效应是可逆的。因此，压电式传感器是一种典型的“双向传感器”。 压电式传感器具有使用频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠、质量轻、测量范围广等许多优点。因此在压力冲击和振动等动态参数测试中，是主要的传感器品种，它可以把加速度、压力、位移、温度、湿度等许多非电量转换为电量。 压电转换元件的主要缺点是无静态输出，阻抗高，需要低电容的低噪声电缆，很多压电材料的工作温度只有左右。 一、压电效应 （一）压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个相对的表面上便产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电的状态；当作用力的方向改变时，电荷的极性也随着改变。晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比，上述这种现象称为正压电效应。 当在电介质的极化方向上施加电场时，这些电介质会产生变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应，也称为电致伸缩效应。 具有压电效应的物质很多，常用压电材料如天然形成的石英晶体、人工制造的压电陶瓷等。 （二）石英晶体的压电效应 石英晶体是最常用的压电晶体之一，它是一个正六面体，在晶体学中可以把它用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴z称光轴；经过正六面体棱线并垂直于光轴的x轴称为电轴；与z轴和x轴同时垂直的y轴(垂直于正六面体的棱面)称为机械轴。 将沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”。 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”，而沿光轴z方向受力时不产生压电效应。 图8-1 石英晶体的外形与晶轴 当晶片在沿x轴的方向上受到压缩应力 作用时，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶片的线性弹性范围内，极化强度 与应力 成正比，即： 式中， 为沿晶轴x方向施加的压缩力； 为压电系数，当受力方向和变形不同时压电系数也不同，石英晶体的 ； l、b 分别为石英晶片的长度和宽度。 压电系数 的下标mn的意义是：m表示产生电荷的面的轴向，n表示施加作用力的轴向。在石英晶体中，下标1对应x轴，2对应y轴，3对应z轴。 极化强度 等于晶片表面的电荷密度，即： 式中， 为垂直于x轴平面上的电荷。 把 值代入 得： 由上式可以看出，当晶片受到x向的压力作用时， 与作用力 成正比，而与晶片的几何尺寸无关。 其极间电压为： 式中， —电极面间电容， S—极板面积，单位为 ； h—晶片厚度，单位为 m； —压电晶体的介电常数； —真空介电常数（ ）； —压电晶体的相对介电常数（4.58）。 根据逆压电效应，晶体在x轴方向将产生伸缩，即 或用应变表示，则 式中， —x轴方向的电场强度。 在x轴方向施加压力时，石英晶体的x轴正向带正电；如果作用力 改为拉力，则在垂直于x轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反，电荷的极性如图8-2所示。 图8-2 晶片上电荷极性与受力方向的关系 如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其电荷仍在与x轴垂直平面上出现，其极性见图8-2，此时电荷的大小为： 式中， 为石英晶体在y轴方向上受力时的压电系数。 根据石英晶体轴的对成条件： 则上式为： 式中，h为石英晶片厚度。 负号表示沿y轴的压缩力产生的电荷与沿x轴施加的压缩力所产生的电荷极性相反。由上式可见，沿机械轴方向对晶片施加作用力时，产生的电荷量与晶片的几何尺寸有关。 则其电极间电压为 根据逆压电效应，晶片在y轴方向将产生伸缩变形，即 或用