现代检测技术李英顺电子教案 第9章.pptVIP

⒊光电倍增管的基本特性 ①积分灵敏度。光点倍增管的积分灵敏度决定于光电阴极的积分灵敏度和光电倍增管的放大倍数。假定阴极的积分灵敏度为γ，倍增管的放大倍数为M，则光电倍增管的积分灵敏度为γF可以写为γF = γM。 对于常用的光电倍增管，其积分灵敏度约为106，单位常用表示A/lm。 ②放大倍数。电源电压与放大倍数有很大关系。随着电源电压的增高，光电倍增管的放大倍数也将提高。电源电压与放大倍数之间的关系，是光电倍增管的主要特性。 ③阳极特性。光电倍增管的阳极特性为阳极电流对于最后一级倍增管和阳极间电压的关系。 ④光电特性。光电特性是阳极电流Ia与光电阴极接收到的光通量Φ之间的关系。 ⑤噪声。光电倍增管的噪声由很多部分构成。它包括光电阴极电子发射噪声，倍增管二次发射噪声，电阻热噪声等。它们共有的现象是在外界入射光保持绝对恒定的，光电倍增管的输出，不是稳定不变的，而是有一定的起伏。 9.3光栅测量装置 光栅很早就被人们发现了，但应用于技术领域只有一百多年的历史。早期人们是利用光栅的衍射效应进行光谱分析和光波波长的测量，到了20世纪50年代人们才开始利用光栅的莫尔条纹现象进行精密测量，从而出现了光栅测量装置。光栅测量装置具有许多优点，如测量精度高。在圆分度和角位移测量方面，一般认为光栅测量装置是精度最高的一种，可实现大量程测量兼有高分辨率；可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化；且具有较强的抗干扰能力等。 因此，近些年来，光栅测量装置在精密测量领域中的应用得到了迅速发展。光栅测量装置(或称光栅测量系统)是指利用光栅原理对输入量(位移量)进行转换、显示的整个测量装置。它包括三大部分：光栅光学系统；实现细分、辨向和显示等功能的电子系统；相应的机械结构。 9.3.1光栅光学系统 ⒈基本工作原理 ⑴在玻璃尺或玻璃盘上类似于刻线标尺那样，进行长刻线(一盘为10~12mm)的密集刻划，得到如图所示的黑白相间、间隔细小的条纹，没有刻划的白处透光，刻划的黑处不透光，这就是光栅。 光栅上的刻线称为栅线，栅线的宽度为a，缝隙宽度为b，一般都取a=b，而a+b=d称为光栅栅距。光栅栅距是光栅的重要参数。 如图9-6 图9-6 光栅栅线放大图 返回课程 ⑵光栅光学系统是由光源、透镜、主光栅、指示光栅和光电元件构成的，而光栅是光栅光学系统的主要元件。光源一般采用钨丝灯泡；光电接收一般采用光电池和光敏三极管。 光栅光学系统的基本工作原理是用光栅的莫尔条纹现象进行测量的。取两块光栅栅距相同的光栅，其中一个为主光栅3，另一个为指示光栅4，指示光栅比主光栅要短，这两者刻面相对，中间留有很小的间隙d，便组成光栅副。将其置于有光源1和透镜2形成的平行光束的光路中，若两光栅栅线之间有很小的夹角θ，则在近似垂直于栅线方向上就显现出比栅距d宽得多的明暗相间的条纹，这就是莫尔条纹。 如图9-7 图9-7 光栅光学系统的构成原理图 返回课程 ⑶莫尔条纹 由图9-8可见，莫尔条纹中间为亮带，上下为两条暗带。 相邻的两明暗条纹之间的距离称为莫尔条纹间距，以ω表示。 图9-8 莫尔条纹形成示意图 返回课程 ①莫尔条纹的移动量、移动方向与光栅尺的位移量、位移方向具有对应关系。 在光栅测量中，一方面莫尔条纹的移动量与光栅尺的位移量之间有严格的对应关系；另一方面在两块光栅尺的栅线交角θ一定的条件下，莫尔条纹的移动方向与光栅尺的位移方向之间也有严格的对应关系。 ②莫尔条纹间距对光栅栅距具有放大作用。在两光栅栅尺线夹角θ较小的情况下，莫尔条纹宽度ω和光栅栅距d、栅线夹角θ间有下列近似关系： ③莫尔条纹对光栅栅距局部误差具有消差作用。 在光栅测量中，光电元件接收的是一个区域内所含众多的栅线所形成的莫尔条纹。例如，设光栅栅距d=0.02mm，接收元件采用10mm×10mm的硅光电池，则在硅光电池100mm宽度范围内，将有500条栅线参与工作。显然，在这一区域内个别栅线的栅距误差，或个别栅线的断裂或其它疵病，对整个莫尔条纹的位置和形状的影响很微小，即莫尔条纹具有减小光栅栅距局部误差的作用。 ⑷莫尔条纹测量位移的原理 用光栅的莫尔条纹测量位移，长度与测量反相一致的标尺光栅（主光栅）固定在运动零件上，随零件一起运动。短的指示光栅与光电元件固定不动。当两块光栅相对移动时，对某一点观察，可以观察到莫尔条纹的光强的变化。设初始位置为接收亮带信号，随着光栅移动，光强的变化，由亮进入稍暗，然后半亮半暗，全暗，半暗半亮，全亮。莫尔条纹的变化经历了一个周期，即移动了一个条纹间距，也就是说光栅移动一个栅距