全氯取代酞菁锌的合成与其Cl2气敏性研究.pdfVIP

第29卷第3期 《陶瓷学报》 V01．29．No．3 2008年9月 IOURNAL0FCERAMICS Sep．2008 文章编号：1000-2278(2008)03-0250--04 全氯取代酞菁锌的合成及其C12气敏性研究 雷廷平1 3 王立权2 施云波z 赵文杰1 李赞4 (1．哈尔滨理工大学应用科学学学院，哈尔滨：150080；2．哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院， 哈尔滨：150080；3．哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站，哈尔滨：15@1； 4．哈尔滨学院生命科学与化学学院，哈尔滨：150086) 摘要 本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料，采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌，并通过红外、紫外光谱对其进行了表 征。在Si02基片上，利用MEMS微加工技术制造了敏感电极，采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜。气敏测试结果表明：该传 感器对氯气有较理想的灵敏特性。 关键词全氯取代酞菁锌，表征，气敏性 中图分类号：0484．4文献标识码：A 130。140℃，混合物开始熔解，待完全熔解时立即加 1引言 在超声作用下分别用酸、碱洗至中性，直至洗液无色。 金属酞菁作为P型有机半导体，对氧化性气体 再用甲醇索式提取至溶液无色，干燥得蓝色固体。 (如氯气)和还原性气体(如氨气)有很高的灵敏度，检2．2器件制作 用浓硫酸对ZnPcClM粉末进行重结晶提纯，采 测气体浓度可以达到ppm级或ppb级[1-1。通常认为酞 菁电导率的增加主要是由于大气中的氧掺杂，而E． 用传统的真空蒸镀工艺将其制成气体传感器所需的 Van 薄膜。当蒸镀系统中的气压达到8×lO*Pa时，在 Faassen等证明了引起电导发生变化主要是空气 中的强氧化剂闭。随着爆炸和中毒事件的频繁发生， X 3．5mm，金叉指电极总长20mm，极间距25p,m。 金属酞菁也成了检测C12，N02，NTIs等有毒气体的气 敏材料圈。 本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料，采用钼酸铵 3结果与讨论 固相催化法合成了全氯取代酞菁锌，并对其进行了表 征和气敏性研究。 2实验 钼酸铵 +zn(Ac)托o(NⅢ—i；■ 2．1气敏材料合成 全氯取代酞菁锌的合成路线如图l所示。取 图1全氯取代酞菁锌的合成路线 routeof substituent 2．669四氯邻苯二腈，39尿素，0．029钼酸铵。研磨均Fig．1Synthesisperchlorinated zinc 匀后置于500ral圆底烧瓶中，油浴加热，缓慢升温至 phthalocyanine 251 陶瓷学报)2008年第3期