无氧铜电真空管壳开孔放气研究的论文.pdfVIP

中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会 无氧铜电真空管壳开孔放气研究 王金婵，张晓兵‘，毛福明，肖梅，崔云康，雷威 东南大学电子科学与工程学院，南京，210096 *Emai l：bel 摘要： 目前对真空电子器件进行残余气体分析，通常采用的方法是使用特殊的开孔器将真空器件和 配以四极质谱计的真空分析室相连，在真空分析室达到一定的真空度的时候，开孔器在电真空器件上 开孔使得器件内部残余气体通过开孔器进入真空分析室，并由四极质谱计对残余气体进行分析。在开 孔取样的过程中，由于管壳受到开孔器击针的作用会放出气体从而干扰甚至影响到残余气体的成分。 本文研究了在电真空器件的无氧铜管排气管上开孔进行残余气体分析时，无氧铜管在开孔器动作过程 中受力放气对采样残余气体成分的影响。 1．引言 对于电真空器件来说真空外壳材料的选择至关重要，它将直接决定器件的真空性能。具体地对真 空容器壳体材料的要求：①有足够的机械强度和刚度来保证壳体的承压能力；②气密性好，要保持一 个完好的真空环境，器壁材料不应存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷，有较低的渗透速率和 出气速率；③在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低(对超高真空系统来说尤其重要)；④化 学稳定性好，不易氧化和腐蚀，不与真空系统中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应；⑤热 稳定性好，在系统的工作温度(高温与低温)范围内，保持良好的真空性能和机械性能；⑥在工作真空 度及工作温度下，真空容器内部器件应保持良好的工作性能，满足作业工艺的要求；⑦有较好机械加 工性能及焊接性能。1 无氧铜纯度高(Cu含IT99．98％)，含氧量极低，又不含有氧化亚铜，在受热时不产生脆裂，故 适合于在超高真空中应用。2无氧铜具有良好的延展性和非多孔性，且电导率和热导率极高，故又称无氧 高导铜。由于无氧铜具有良好的变形性能、很好的焊接和钎焊性能，真空气密性好，对气体的溶解度 低，在室温下不渗透氢和氦，而且对氧气和水蒸气的敏感性差、塑性又好，因此被广泛地应用于超高 真空系统和电真空器件中。 在对真空电子器件进行残余气体分析时，目前常用的方法是采用特殊的开孔器将真空器件和带有 四极质谱计的真空分析室相连，在真空分析室达到一定的真空度时，开孔器在电真空器件真空管壳上 开孔使得器件内部残余气体通过开孔器进入真空分析室，并由四极质谱计分析，获得残余气体分子的 质谱图。在开孔取样的过程中，由于管壳受到开孔器击针的作用会放出气体从而有可能干扰甚至影响 到残余气体的分析。为此在电真空器件残余气体的分析中，研究器件真空管壳在开孔过程中的放气也 是一个非常重要的环节。 2．试验 177 中国真空学会质谱分析与检漏专业委员会第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会 本文以无氧铜真空排气管为例介绍一种分析电真空器件在开孔残余气体分析过程中放气的方法。 图1所示为试验采用的真空系统的示意图，真空机组由机械泵和涡轮分子泵以及溅射离子钛泵组成，真 空分析室内真空度由超高真空电离计测得。 间和温度可以视不同真空器件的排气工艺而定。无氧铜管经钳封从排气台上封离后，与开孔器之间进 行真空密封，开孔器的另一端和真空分析室相连。采用机械泵和分子泵对系统进行抽气，同时对系统 进行烘烤，烘烤温度200℃，时间24d,时。系统冷却至室温后，关闭V1阀门，并开启V2阀门，采用溅射 离子泵对真空分析室进行抽气。该条件下真空分析室内的真空度可以达到10-7Pa量级。 Mol Mechanicalvacuum pump 图1．试验真空系统示意图 为了减小分析室内表面放气对分析结果的影响，试验过程中溅射离子泵仍处于工作状态，维持分 析室内真空度平衡在一个相对比较好的水平。但是另一方面，如果待测气体量比较少，则会很快被离 子泵抽除，导致四极质谱计没有足够的时间扫描做全质量数的扫描。为了保证待分析的气体尽可能被 采样到，一方面可以尽量提高四极质谱计的扫描速度，另一方面可以将连接溅射离子泵和真空分析室 的阀f-IV2置于不全开状态，适当降低离子泵的抽速。采用这种方法，不但可以保证离子泵对真空分