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5.2 传感器的特性分析 机电一体化系统中传感器输入的物理量多为机械量(位移、速度、加速度、力等),而输出的物理量为电量(电压、电流等)。为了进行信号处理,传感器中不只是单纯的传感元件(变换器),多数传感器中都配置运算放大电路,以便将微弱的电信号变换成较强的便于利用的信号。 另外,有的传感器中装有将一种机械量变换为另一种机械量的变换装置 变换器根据变换的物理过程可分为以下几种: 电/磁变换。动电式、静电式、磁阻式、霍尔效应式等。 压电变换。压电元件。 应变/电阻变换。应变片、半导体应变计。 光/电变换。光电二极管、光敏晶体管 此外,还有其它的利用半导体和陶瓷等产生的各种物料现象的变换器。 5.2.1 动电式变换器的特性 由上述式子可知,动电式变换器的传递函数为: 5.2.2压电式变换器的特性 5.2.3具有其它平滑特性的变换器 5.2.4传感检测系统的特性 变换器将被测量x变换成机械量y的变换是传感器中的机械量变换。 从x变换为y的实例很多,例如把应变片作为变换器时,其x为力F或位移x,而y就是应变?。 力或位移变化速度快时,会引起机械共振,使ε显著增大。系统无振荡时,在±1%的误差围内,其使用频率范围大致为0~ωn/10,也就是说叫。必须为使用限界频率的10倍以上。 振动计-质量、弹簧、阻尼系统 综上所述,传感器系统由机械变换、机电变换和电气变换等部分组成,如果忽略其相互作用的影响,传感器的整体特性可表示为 取决于变换器的性质, 随被测物理量的不同而不同。 为电信号变换的传递函数,电信号变换的处理方法更具通融性。 可作为校正回路来改善不理想的动态特性。改善传感器动态特性的电子电路与改善机电一体化系统动态特性的电子电路原理相同。 5.3执行元件的特性分析 机电一体化系统中常用的执行元件是电气执行元件,其输入为电信号,输出为机械量(位移、力等)。 执行元件作为一个系统,由驱动电路、电一机变换器(伺服电动机)、机械量变换器(如减速器)组成。 执行元件系统的传递函数当然不能像传感器系统那样,只写成各部分的乘积,这是因为一般来说,在电气变换中将电气一机械变换的状态(电流、速度)进行反馈,由机械变换器以及与其相连接的机构特性改变电气一机械变换装置的状态,从而使输出转矩T得到改变。 执行元件的特性不单纯是它本身的特性,而应该将执行元件与机械机构的动态特性结合起来分析。 电气执行元件有多种,如前面介绍的DC和AC伺服电动机、步进电动机、直线电动机、压电式执行元件以及超声波电动机等。 执行元件的电气一机械变换的基本原理是电磁变换和压电变换,与前面介绍的变换器的变换原理相同。此外,形状记忆合金执行元件也可以认为是通过电一热一变形、具有电气一机械变换功能的一种电气式执行元件。上述这些执行元件有的是反馈控制(闭环控制),有的是开环控制。反馈控制根据反馈的物理量的不同,可得到不同的特性。 超声波电动机没有磁极和绕组,不依靠电磁相互作用来传递能量,而是利用压电陶瓷的逆压电效应,将材料的微观变形通过共振放大和摩擦耦合转换成转子或者滑块的宏观运动。具有功率密度大,无电磁干扰,低速大转矩,动作相应快,运行无噪声,无输入自锁等卓越特性。 5.3.1 电磁变换执行元件的特性 5.3.2 具有反馈环节的驱动电路电磁变换执行元件的动态特性 5.3.3 步进电动机的特性 设步进电动机只有惯性负载Jm,如何在尽可能短的时间内使转速从0升至ωm ,是我们要考虑的问题。如果负载转矩是加速转矩 ,在接近于图所示临界转矩状态下使用时,其运动方程为 输入脉冲序列的输入速度较慢时,电动机一步一步地断续回转,电动机的保持转矩具有图5.36所示的特性,起着弹簧的作用,在一个步距角附近作衰减振动,如图b所示。此时步进电动机的动态特性可表示为 如上所述,步进电动机(与驱动电路)的特性,宏观上,在限定的负载转矩范围内,其输入与输出可以认为成比例;而在微观上,可认为是在目标值附近作衰减运动的二阶系统。宏观特性使用于具有速度的场合。微观特性使用于需确定最终位置的情况。 5.3.4 压电式执行元件及其特性 压电元件具有给予应力变形时,则产生电荷(传感器的效果),反之给予电压,则产生应力变形(执行元件效果)的性质。图5.37a是为了产生大变形量而将100片以上的薄片压电元件重叠在一起的压电式执行元件。 通常通过电阻加压,包含电路在内的压
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