微电子光电传感器6.pptVIP

3、光纤传感器基本原理及类型 组成：光纤、光源、光探测器 被测量 强度调制 相位调制 频率调制 偏振调制 波长调制 强度调制型光纤传感器 被测量 损耗 吸收损耗：光能→热能，对不同波长光的吸收率不同 散射损耗：光纤材料不均匀、几何尺寸缺陷 瑞利散射、光纤弯曲 （1）吸收特性的强度调制 射线辐射引起光纤内部产生缺陷，吸收损耗增加 —— 辐射量传感器：不同光纤对不同射线的敏感 程度不同，鉴别不同射线 例如：铅玻璃光纤对 中子射线射线灵敏度高 10-2 10-1 100 101 102 103 104 105 104 103 102 101 100 10-1 （2）微弯损耗光强调制 模态理论：垂直于光纤轴线的应力使光纤弯曲时，传输 光部分折射到光纤包层中，不产生全反射， 纤芯中光强发生变化。 测量外界力：重力、应力、加速度等 全反射条件遭到破坏， 部分光线输出光纤， 产生损耗 * * * * * 四、光位置传感器 面阵光位置传感器 二维面阵光位置传感器 线阵光位置传感器 五、色敏光电传感器 结构 等效电路 浅结：对紫外光有较高灵敏度 深结：对红外光有较高灵敏度 等效电路 不同的光敏二极管的光谱响应范围不同。 双结二极管的光谱特性 100 80 60 40 20 0 400 500 600 700 800 900 1000 1100 双结二极管的光谱特性 100 80 60 40 20 0 400 500 600 700 800 900 1000 1100 短路电流比与 入射光波长的关系 双结二极管的光谱特性 10 5 2 1 0.5 0.2 0.1 0.05 0.02 0.01 0 400 500 600 700 800 900 1000 1100 I1 I2 不同波长对应的I2 /I1 之比不同 I1 I2 I’1 I’2 短路电流比检测电路 IG IR IB 通过对这三个单色敏器件的输出比进行比较，可以判断出12种以上的各种中间的颜色。 滤色片 透明电极 玻璃 非晶体硅光电池 背电极 集成色敏传感器 1、CCD的结构和基本原理 MOS电容器件 + 输入输出端 = CCD 光敏元件阵列 电荷转移器件：CCD 光固态图像传感器 六、图像传感器 耗尽区：电极加正偏压，排斥空穴，无空穴的区域 偏压越大，耗尽区越深 电荷包：少数载流子（电子）吸引到最高正偏压电极下 势阱：加偏压后在金属电极下形成的深耗尽层， 阱内存储少子 电荷（少子）注入方法：光注入、电注入、热注入 S极加负电位，P型衬底接地 电荷（少子）定向转移 —— 三相控制方式 经过一个时钟脉冲 周期，电荷从前一 级的一个电极下， 转移到下一级的同号 电极下。 —— 电荷定向转移 2、线阵CCD图像传感器 （1）单行结构 光积分：光照感光单元、光生电子-空穴对（光电子） 积累光电荷：与光照强度、光积分时间成正比 电荷转移：转移栅高电位 —— 电子通道 梳状电极高→低，CCD电极高电位——流向 定向输出：转移栅高→低，梳状电极低→高 CCD加时钟脉冲，串行输出 —— 重复进行，相继的行输出，读出电荷图形 尺寸检测 （2）双行结构 3、线阵CCD图像传感器的应用 处理、显示 驱动电路 —— 透镜焦距 —— 光学放大倍数 —— CCD 像素间距 —— CCD 像素数 4、面阵CCD图像传感器 —— 在 x、y 两个方向上都能实现电子自扫描 组成：感光区、信号存储区、输出转移部分 七、红外传感器 —— 探测人体 1、热释电效应概念 晶 体 + + + + + _ _ _ _ _ 热释电体 某些晶体由于温度变化会在其两个对表面产生数量相同，符号相反的表面束缚电荷的现象。 热释电效应： _ _ _ _ _ + + +