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空调系统优化方案 原设计空调冷源设备的选择与配置过于单一和草率：空调冷源由气动专业设计不妥，气动专业对具体的空调末端运行工况、负荷变化情况不如暖通专业熟悉。从图纸没有看到关于整个空调系统的全年能耗分析。部分负荷时如何配空调冷源设备使之到达较高的效率？根据某LED外延及芯片厂的实际空调冷源运行经验，使用冰蓄冷系统2年即可收回冰蓄冷系统投资。MOCVD的排风量较大，为保持洁净度所补充的新风量也较大。因此新风负荷的昼夜差值很可观，建议本项目采用冰蓄冷系统以节省空调系统运行费用。建议具体的空调冷源设备应根据空调末端负荷变化情况配置，并采用较高系统集成化的空调主机群控系统。确保空调主机在部分负荷条件下，保持较高的COP，并使空调主机和水泵、冷却塔均能配合负荷变化高效率运行，整个空调系统协调运行和综合性能优化。达到减少能耗，降低空调系统运行费用。 原设计干盘管（DCC）所需的13℃冷水是由空调主机先制成7℃冷水后再经换热器调温提供的，不节能。建议新风空气处理机组（MAU）与干盘管（DCC）冷源分开设置。新风空气处理机组（MAU）冷源采用冰蓄冷系统，干盘管（DCC）冷源采用中温空调主机直接制备13℃冷水，提高蒸发温度可以大幅增加空调主机的COP值。并建议采用免费取冷的离心机组用于秋冬季节供冷。 原设计空调冷水供回水温差只有5℃，建议新风空气处理机组（MAU）空调冷水配合冰蓄冷系统空调冷水供回水采用大温差以降低输送空调冷水的水泵能耗。 原设计空调主机采用低压驱动，建议采用高压直接驱动。根据电力规范要求500kW以上电机,宜采用高压电机。综合相关电气系统投资及运行分析，较大冷量的离心机组更适合于采用高压电机。 原设计未标明空调主机是否采用环保冷媒，国际社会于1987就缔结了《关于消耗O3层物质的蒙特利尔议定书》，对消耗O3层物质的种类、禁用时间等做了限制。从业主的长远发展考量，建议空调主机采用R134a等环保冷媒。 未见总图规划，特气站、氮气站、氢气站、化学品库、废水处理站、废弃物回收站等均为LED外延及芯片厂必不可少的辅助配套站房。特此提醒甲方注意经济运行和安全性能应综合考虑。特别是氢气站。氢气初期以鱼雷罐车配合储罐为主，到一定规模后是否以自制方式供应？ 原设计恒温恒湿空调区的室内设计参数取值不合理：空调控制原理图中各恒温恒湿空调区的室内设计参数均为23±2℃，45±5%。从节能及空调控制系统的角度考量是否所有恒温恒湿空调区都需要保证相对湿度在±5%范围内？空调控制原理图中更衣室、缓冲区、维修操作区的相对湿度都取值45±5%是否有必要？根据经验建议除光刻区相对湿度的精度取值为±5%以外，其余恒温恒湿空调区的相对湿度精度取值可以放宽到±10%。另外相对湿度基数取45%也偏干燥，建议外延区的相对湿度基数可以升高到50%。 8.原设计冬季空调加湿采用高压微雾加湿不合理：采用高压微雾加湿方式无法保证恒温恒湿空调区相对湿度在±5%范围内的精度要求，并且高压微雾供水压力较高，不节能。建议采用湿膜加湿与电热加湿组合的方式，新风先由湿膜加湿到接近室内等湿线再由电热加湿调节精度。 9.原设计排烟风管在吊顶静压箱内采用离心玻璃棉保温不合理：不论是离心玻璃棉还是玻璃钢护面均有散尘的危险。 10. 原设计生产工艺酸排风管采用UPVC不妥，消防审查难以通过。且生产工艺设备末端通常都有压差计。要保证2英寸水柱的压力，生产设备才能正常使用。再加上洗涤塔设备阻力怎么也会超过800Pa 。这两项加起来都1300Pa了。因此工艺排风中酸和有机执行中低压标准是不太合理的。且工艺酸和有机排风通常采用圆形风管，不采用方形风管。 11. 原设计MAU夏季处理新风有风险：空调控制原理图中MAU夏季处理新风的机器露点为11.2℃，空调供水温度为7℃。新风经过MAH表冷器的最低极限温度为10.5℃。因此要保证光刻区的相对湿度在45±5%是有风险的。建议取一部分新风自循环以尽量除湿。 12.同上原因，建议取消4F的MAU设备，每台AHU独立取新风，新风与回风混合后经过表冷器焓差较小，夏季温湿度控制采用湿度优先模式较易达到要求。 13. 原设计4F与回风柱相连的支风管缺少风量调节阀，不合理。不能均匀回风，无法达到理想的气流组织，建议与回风柱相连的支风管增设风量调节阀。 14. 原设计干盘管的净尺寸和外形尺寸相差太少，不合理。 15. 原设计在空气处理机组中的表冷器前端没有设置空气过滤器，表冷器得不到保护，长时间运行将灰尘堵塞表冷器翅片。建议将粗效空气过滤器设置在表冷器前端以保护表冷器。 15. 原设计AHU中设计双风机，且每台风机的全压均达到1500Pa，不合理。建议设计院仔细合计核算风机风压，确定有没有必要设计双风机。 16. 原设计空调水管路设计不合理，没有必要每一台空气处理机组都设计水过