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光电测试技术Opto-electronic Measurement Technology 作者:陶 卫 上海交通大学仪器系 E-mail:taowei@sjtu.edu.cn 第一章 光电测试技术概述 一、光电测试技术的意义 二、光电测试系统实例 (1) 红外防盗报警系统 (2)光电计数器 四、光电测试技术的应用发展 * * 测量精度高、速度快、非接触、自动化程度高 光学技术——纯光学方法 电子技术——电子学方法 微电子技术(微小尺寸) ——光频段的微电子技术 ——方便、快速 光材料技术、光器件技术、光学系统技术(光信息检测系统、光信息处理、光计算、光传输、光存储与显示技术等) ——快速(运动速度最快) (3) 锅炉水位光电控制 (4) 稳定光源发光照度的自动控制系统 (5) 激光外径扫描仪 (3)远距离、大量程(遥测、遥控) (2)高速度(媒介 --- 光) (1)高精度(精度最高) (4)非接触测量(不损伤被测物) (5)寿命长 --- 复现性好、永久使用 (6)智能化 --- 强信息处理和运算能力、并行处理; 三、光电测试技术的特点 1.辐射度量和光度量的检测 光强度计、光亮度计、辐射计、以及光测高温计和辐射测温仪 3.光学材料、元件及系统特性的检测 4.非光物理量的光电检测 2.光电元器件特性的检测 光谱特性、光灵敏度、亮度增益 材料、元件的光谱特性;光学系统的调制传递函数; 大倍率的减光片 --- 应用最广、发展最快、最为活跃的应用领域 5. 光电测试技术的发展 固体摄像器件(小巧、坚固、低功耗、失真小、工作电压低、 重量轻、抗震性好、动态范围大、光谱范围宽)--- 视觉检测 红宝石/氦-氖激光器(单色性、方向性、相干性、稳定性好) 光导纤维(高精度、高速度、非接触、远程传输) (1)新光源、新光电器件 标定(纳米、亚纳米级)--- 激光外差干涉仪(0.1nm)、 X光干涉仪(0.01nm) 加工精度(0.1?m或0.01?m水平)--- 纳米测量显微镜 环境要求(环境温度不稳定、振动、光源波动) ---- 闭环控制 (2)工程领域 计算机技术 --- 微系统(集成化)--- 微机电系统 --- 微型测量装置 --- 微型光、机、电测试系统(发展方向) (3)微电子技术 *
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