隧道式硅微加速度计的设计与仿真.docVIP

平时上课出勤及表现（20%） 实验课出勤/实验结果检查/实验报告/期中测试（30%） 课程结业试题 理论/设计/总结报告 （50%） 课程最终成绩 上面表格为该课程最终成绩记入方法。 2013/2014学年 第2学期 《MEMS CAD》课程结业试题 学 院： 班级及学号： 姓 名： 本结业试题包括： 一、理论部分； 二、综合设计实验部分； 三、本课程主要内容总结报告。 理论试题部分 （40分） 综合设计实验仿真部分 （40分） 课程总结报告 （20分） 总分 提交截止时间：2014年5月9日中午12：00点。 拟题教师：谭秋林 E-mail: tanqiulin@nuc.edu.cn 2014-4-10 一、理论部分 1、按您的理解，请阐述运用ANSYS软件进行分析求解问题的基本步骤和思路。结合本专业，谈谈其在所学专业中的应用。 （10分） 2、分别阐述INTELLISUITE和 L-EDIT软件在微电子学专业中的作用和能完成的任务。说明用INTELLISUITE软件分析仿真工程问题时的基本步骤。 （12分） 3、请阐述用完全法（Full）MEMS CAD技术的发展情况，目前中国与欧洲等发达国家存在的差距和需解决的技术瓶颈问题。 （10分） 二、综合性设计实验：隧道式硅微加速度计的设计与仿真 图1 加速度计的尺寸结构图 图2 加速度计结构顶视图 题意：图为隧道电流式硅微加速度计的结构尺寸外型图，设计建立模型并求解。 该隧道电流式加速度计的结构设计参数主要有：质量块边长L，质量块厚度h，梁宽w，梁长Ld，梁厚d，打折梁长L0。这些结构设计参数的取值受到的主要限制有： (1)现有硅制造工艺水平； (2)材料的钢度、强度； (3)加速度计量程。 初始尺寸： （单位：um） 打折梁长：L1=50，支撑柱高50(为了方便观测，值取的较大)，底座高150 求解： 1）建立隧道电流式加速度计模型及进行合理的网格划分； （10分） 2）对模型加载边界条件全约束和质量块150g的加速度，然后进行ANSYS求解分析，查看结构各部分的受力状况； （5分） 3）求解六阶模态，并在word文档中保存其前六阶模态云图； （5分） 4）采用完全法对加速度传感器模型进行瞬态分析。在结构敏感方向上（Z方向）μs的冲击加速度，值为200g。将载荷分为50个子步，画出其隧尖的最大位移曲线。（10分） 5）用INTELLISUITE软件进行简单的工艺设计与仿真。 （10分） 三、请您针对本课程主要内容拟写总结报告，报告的第一部分为本课程的主要内容总结，第二部分请您谈谈你对本课程学习的认识与体会，并举例微电子研究中的一些具体应用。 本题要求图片不能太大，该题总页数不能超过10页。 （20分） 一、理论部分 1、按您的理解，请阐述运用ANSYS软件进行分析求解问题的基本步骤和思路。结合本专业，谈谈其在所学专业中的应用（10分） 答：(A)在具体问题中运用ANSYS进行分析求解： 第一步．首先对问题描述的思考分析，大致确定模型的框架，想清楚如何建立模型，怎么建立模型，确定模型建立的方法，建模方法有自底向上和自顶向下两种； 第二步．在想好模型后，运用适当的方法，建立实体模型，在模型建立前应对具体模型采用合适的方法，这样有助于在建模过程中减少不必要的时间； 第三步．模型建立后对模型进行网格的化分，建立有限元模型。其中网格划分有自由式网格划分和映射式网格划分两种。对具体模型恰当选取网格划分方法； 第四步．进行对有限元模型行求解分析，首先对模型施加约束与载荷条件，然后求解分析，其中求解分析包括静力学分析，模态分析以及瞬态分析等； 第五步．最后进行后处理，获得求解分析结果，并对其进行观察与分析。 (B) ANSYS在微电子学专业中的应用： 微机电系统(MEMS)是一门新兴的技术，具有非常广阔的应用前景，近些年来MEMS越来越受到各国的重视。MEMS 设计必须保证当载荷和温度在大范围内变化，能经受剧烈的冲击和震动，器件不发生损坏，因此对MEMS设计提出了高要求，为使这种体积纤小、结构精巧的微机电器件能够精确、可靠地工作，以适应恶劣环境，MEMS 设计者在设计中普遍采用FEA 方法，借助软件对微机电系统的应力、变形、自振、