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AP-CVD法制备的二氧化钛薄膜结构和亲水性研究.pdf

真空科学与技术学报 第24卷增刊 OFVACUUM AND JOURNAL SCIENCETECHNOLOGY(CHINA)2004年12月 AP—CVD法制备的二氧化钛薄膜结构 及亲水性研究 刘 鹏 汪建勋翁文剑 韩高荣+ (浙江大学材料系硅材料国家重点实验室杭州310027) Film Structureand ofTitaniumDioxide Hydrophilicity Prepared PressureChemical

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