一种电阻式半导体Cl2传感器非线性补偿电路研究.pdfVIP

第29卷第3期 《陶瓷学报》 V01．29．No．3 CERAMICS 2008年9月 JOURNALOF Scp．2008 文章编号：1000-2278(2008)030261-03 一种电阻式半导体C12传感器非线性补偿电路的研究 邢涛1 修德斌1 王志丽1 施云波1，一 王立权2 (1．哈尔滨理工大学测控技术及通信工程学院，哈尔滨：150080； 2．哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站，哈尔滨：150001) 摘要 本文通过分析氯气传感器灵敏度与气体浓度对应曲线，建立简单的数学模型，以实时模拟计算芯片AD538为核心，并设计了 一种用于传感器幂函数特性曲线修正的非线性校正电路，指数可在(2．5-5)间任意调整。试验结果表明，该线性补偿电路具有较好 的线性度，相对精度≤4-2％。 关键词氯气传感器，非线性补偿 中图分类号：TP212文献标识码：A 信号测量采用电路如图1所示。 信号源为两端口的敏感电阻Rx，采集时将其接 1引言 在运算放大器的反馈回路上，使输出量正比于电阻 Rx，则输出电压为： 电阻式半导体Cl：气体传感器具有灵敏度高、操 V双=叫限·m·C㈣V。 (2) 作方便、体积小、成本低廉、响应时间和恢复时间都很 短等优点，然而其本身也存在着严重的非线性特性， 它会给测量或控制精度造成很大误差【11。本文在自主 3非线性校正原理 研发的半导体氯气传感器基础上，采用实时模拟计算 芯片AD538设计出非线性补偿电路，该电路具有精 C12传感器的补偿原理如图2所示。设传感器的 度高、调试方便、结构简单等特点。 器后串联—个补偿环节，使补偿后输出y=g(m)=Kx， 2传感器非线性特性 即函数g为函数f反函数的1／I(就实现了传感器的 非线性补偿圆。 当气敏传感器接触到待测气体时，传感器在 0-500X10r6体积分数范围内其灵敏度随气体浓度变 化曲线规律近似为幂函数曲线，即： + X,．--mCx。 (1) 式中，G为氯气浓度；)(c是元件灵敏度，XF-R,／R，R 是c12浓度为x时的电阻值，R是敏感元件在空气中 的阻值．k，m值是由敏感元件特性决定的常数，经多 图1测量电路 The circuit 次试验得出k值为(2．5，5)间的任意数。对此传感器 Fig．1 measunng 收稿日期：2008-07-05 《陶瓷学报)2008年第3期 M=fiX) g㈤2K．x 一2V +2V 图2C12传感器非线性补偿原理 The of for Fig．2 principlenonlinearitycompensation 图3非线性校正电路 chlorinesensor