MEMS系统级设计及和IC设计接口软件的研究.pdfVIP

MEMS系统级设计及与IC设计接口软件的研究 康雷，李伟华 (东南大学MEMS教育部重点实验室，南京210096) 摘要： 提出了一种MEMS器件系统级设计与仿真系统软件体系结构与实现方法，该系统 支持与Ic设计的接口。系统由多个软件模块构成，支持MEMS器件版图输入与编辑、工艺 流程与工艺参数编辑，MEMS器件三维结构生成、图形显示、单元解析与SPICE网表生成、 MEMS器件结构参数自动优化等设计。详细介绍了系统结构及功能，并以典型MEMS器件 为例说明设计过程。 关键词： MEMS；系统级设计；IC接口；仿真；优化 1引言 大多数情况下，实际应用中的MEMS器件通常以单片和多片的形式服务于系统。不论是单片还 是多片，MEMS器件的输出都是和电路(信息处理系统)相级连。随着MEMS技术进步和系统的需 求，用户越来越关心系统的性能。MEMS器件成功应用的例子已经表明，和处理电路集成在一个芯 片上可以大大增强可靠性和稳定性。美国ADI公司的用于汽车安全气囊的加速度传感器芯片 采用Saber作为模拟器，虽然，这螳模拟器也支持一些电路元件与MEMS协同分析，但其不支持由 集成电路制造厂家所提供的模犁参数，它们