光学氢敏感WO3纳米薄膜的制备、光学性质和纳米结构研究.pdfVIP

助 觚 材 斟 2006年增刊(37J卷 光学氢敏感WO。纳米薄膜的制备、光学性质及纳米结构研究。 杨晓红“2，王新强1，马 勇2 (1．重庆大学数理学院，重庆400044；2．重庆师范大学物理学与信息技术学院，重庆400047) 摘要： 在气敏传感器领域纳米光学气敏传感器是 变色特性可以用式(1)的化学反应模型表示，WO。和 一个倍受关注的分支，纳米wo。薄膜由于具备气致变 氢离子能够发生可逆反应： 色效应，可作为一种性能良好的光学氢敏感薄膜材料。 本文采用直流磁控溅射法制备w0。薄膜，对不同氧分 (0z1) (1) 压及退火处理对薄膜透光率的影响进行了分析，井采 当wO。薄膜的颜色由透明变为兰色后，光照射在 用XRD对wO。薄膜的晶体结构和颗粒尺寸进行了研 究，得到了光学性能良好的wO。纳米薄膜。 关键词：WO。；气致变色；DC溅射；透光率；纳米薄 后，光的强度就会减弱，对于不同的氢气含量透过光的 膜 强度程度不同，也就是WOs薄膜的吸收率会发生变 中图分类号：TN304．055 文献标识码：A 化，通过吸收率的变化就可以检测氢气的存在及其含 文章编号2006)增刊一0040—03 量…～1“。 1 引 言 WO。薄膜是一种性能嶷好的光学氢敏感薄膜材 料，但薄膜的制备条件和结构形态对薄膜的光学性能 纳米微粒的颗粒尺寸为1～100rim的超细微粒， 有很大的影响，本文对WO；薄膜在制备中氧气含量对 其本身具有量子尺寸效应、表面效应和宏观量子隧道 效应。而在气敏传感器领域，增大其比表面积是提高 薄膜透光率的影响进行了研究，并对WO。薄膜的晶体 气敏性的一个重要途径。纳米颗粒的超微细化，其比 结构、颗粒大小进行了分析，得到了具有较好光学性能 表面积大大增加，使得粒子表面势垒的高度和厚度及 的纳米结构WO。光氢敏感薄膜材料。 晶粒颈部等效电阻都起了明显变化，晶粒表面活性大 2薄膜的制备及测试实验 大提高，作为气敏传感器材料其响应问时问快、分辨率 高、结构稳定[1一。因此近年来，基于纳米金属氧化物半 目前，薄膜材料常用的制备技术主要有3种，真空 导体(MOs)的气敏材料是凝聚态物理学和材料科学蒸镀法、溅射法和溶胶一凝胶法。真空蒸镀是最简便的 的研究热点之一。 薄膜制备技术，但是也存在很大的缺点，譬如，镀膜与 气敏传感器是各类传感器中与人们生活关系最为 基材表面之问的结合力较弱、对镀膜结构敏感的一些 密切的一类。汽车工业的发展使汽车进人千家万户， 性质的再现性差，而且膜层厚度不容易控制，因此在光 许多西方国家被人们称为车轮上的国家}而另一方面， 学氢敏感薄膜的制备中应用不多。溶胶一凝胶法因其 世界石油危机，油料涨价，使得汽油燃料替代品的开发 操作简单而引起了众多研究者的兴趣，它反应条件温 成为关注的焦点，氢气作为一种绿色能源倍受关注。 和、产品纯度高，在光学氢敏感膜材料的制备中已经有 氢气分子量很小且无色无味，在加工、运输和储藏过程 人采用这一技术，但溶胶一凝胶法制备的膜材厚度也不 中容易发生泄露而且不易被察觉，更严重的是氢气含