Cr4Mo4V轴承钢离子注入Ti-N层的工艺优化及其耐磨性研究.pdfVIP

Cr4M04V轴承钢离子注入Ti．N层的工艺优化及其耐磨性研究 捅 斐 本文主要研究了N、Ti和N+Ti离子注入层的成分结构，并以单元素注入方式研究 了离子注入机的工艺性能，最后分析了离子注入改善摩擦副摩擦磨损性能的机理。 态；用GIXRD分析了注入层的相组成。采用纳米压痕仪测试了注入层的纳米硬度。基 于射程分布理论，计算了名义注入参数与实际注入参数之间的定量关系以及注入元素 摩擦副离子注入前后的摩擦磨损性能，并基于对磨痕形貌、尺寸和成分的分析结果， 分析了离子注入改善摩擦磨损性能的机理。 成分结构和纳米硬度研究结果表明，三种注入试样中N、Ti两种元素均呈非标准 at．％，位于45nm 正态分布。对于注N试样，N元素注入深度为250nm，浓度峰值为1l 处，注入层中发现氮化铬相和游离态的N原子；对于注Ti试样，Ti元素注入深度为 注入试样中，N元素的浓度峰值位移到60rim处，Ti元素分布未发生明显变化，注入 层中发现有游离态的间隙N原子、氮化钛、氮化铬以及氧化钛。上述第二相均以纳米 硬度与N浓度成正比；双元素注入中Ti元素由于实际注入剂量太少，注入深度太浅， 并没有提升注入层的硬度，但却使有效区间展宽。 注入机工艺参数计算结果表明，微波源．注入机实际注入能量是名义注入能量的 为18．2％。 摩擦磨损机理分析表明，基体摩擦副初始以黏着磨损机制为主，平稳阶段以3体 磨粒磨损机制为主；注N试样低摩擦系数阶段为轻微2体磨粒磨损和黏着磨损，后来 发展为剧烈2体磨粒磨损，摩擦系数上升：注Ti试样与注N试样类似，但表面存在的 氧化钛层，抑制了2体磨粒磨损的发展，从而使低摩擦系数阶段维持更长时间；注 N+Ti试样既有注N试样的硬度，又有注Ti试样的氧化钛层，其摩擦磨损性能最好。 关键词：束线型离子注入；Cr4M04V轴承钢；成分结构；注入参数；耐磨性能 Cr4M04V轴承钢离子注入Ti．N层的工艺优化及其耐磨性研究 Abstract This studiedthe andstructureof N+Tiion papermainly composition N，Ti，and implantationlayer,and wasthe of tocalculatethe single-elementimplantationobjectstudy ion the implanterprocess mechanismofion to performance，atlast，analyzed implantation thefrictionandwear improve properties． SIMS and By XPS，theconcentrationdistributionofthe element injected weretested： XPSstudiedthe valencestateofthe studiedthe implantationelement；GIXRD structure phase ofthe test implantedlayer．Nano—mecha