KBAX射线显微镜装调方法研究.pdfVIP

第 21卷第 3期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．21，NO．3 2009年 3月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S M ar．，2009 文章编号 ： 1001—4322(2009)03—0369—04 KBAX射线显微镜装调方法研究 赵玲玲 ，孙德林 ， 胡家升。 (1．鲁东大学 物理与 电子工程学院，山东 烟台 264025； 2．鲁东大学 交通学 院．，山东 烟台 264025； 3．大连理工大学 电子与信息工程学院，辽宁 大连 116024) 摘 要： KBAX射线显微镜为非共轴、掠入射软x射线成像系统，集光立体角很小 ，像质又要求非常高， 这使得四个反射镜的安装位置要求相当严格。通常的位置或角度计量工具，在激光聚变靶室内空问受限的条 件下，很难达到这么高的精度。因此为了保证KBA的成像质量，采用精度 4，，的测角仪使双反射镜的夹角误差 小于2O”。掠入射角对成像质量影响很大，为了使掠入射角小于 lO，用 自己设计的光路系统保证了掠入射角的 精度要求。KBAX射线显微镜系统的主镜的孑L径角4×10～ sr，无法实现锐聚焦。因此设计了一个辅助物镜 代替它的主镜 以实现锐聚焦。在某大型激光装置上进行的惯性约束聚变诊断实验中，运用这些方法所装调 的 KBAX射线显微镜获得了靶标(周期 20 m，线宽6 m的无金膜镍网格)的清晰图像。 关键词 ： X射线成像 ； KBA显微镜 ； 掠入射反射成像 ； 消像散系统 中图分类号 ： 0434．19 文献标志码 ： A 由于常规的成像方法难以适应 x射线波段，目前多采用掠入射反射成像和编码孔径成像技术_l】]。虽然 多层膜技术的发展使得正入射的x射线显微镜和望远镜走 向实用化，但 目前仅限于软X射线口]的长波区域， 对于软 X射线的短波波段，其反射率还没有达到实用水平 。 由于X射线光刻、高能物理_ls 以及激光引爆惯性约束聚变(ICF)的过程诊断等的需求[7]，X射线成像技 术迅速发展，KB(Kirkpatrich—Baez)型显微镜重新引起人们的重视。法国的R．Saunenf8【等人在 1997年研制 成 KBA型(“KBamfilior~”，即改进的KB型)X射线显微镜 。这种显微镜采用两组互相平行的球面反射镜 。 前一组反射镜和后一组反射镜并不是严格 的垂直 ，而是沿着光线 的走 向倾斜一定的角度 。 我们为中国工程物理研究院的激光等离子体国家重点实验室设计 了一套由4个球面反射镜组成的非共轴 掠入射X射线显微镜，也称为KBAX射线显微镜_8]。掠入射 KBAX射线显微镜为非共轴、掠入射软X射线 成像系统，它的集光立体角很小，像质又要求非常高，这使得 4个反射镜的安装位置要求相当严格 。通常的位 置或角度计量工具，在空间受限的条件下，很难达到这么高的精度。因此本文针对 KBA系统结构的特殊性， 采用了可行而又精度高的装调方法，保证了KBA的成像质量。 目前掠入射反射成像成为X光成像 中的研究 热点之一 ，有很多学者正在致力于非共轴掠入射显微镜的研制，本文中阐述 的这些装调方法可以作为其他非共 轴掠入射显微镜研制的参考 “]。 1 系统结构参数及公差 KBA型 X射线显微镜结构如图 1所示 。该系统 由4块曲率半径相同的球面反射镜构成 。前两块反射 镜 M 和 M 以一定 的夹角构成一组双反射镜 ，将水 平面的 X射线汇聚成一条竖直 的线 ；后两块反射镜 M。和 M 又以一定的夹角构成另一组双反射镜 ，再将 竖直的线汇聚成一点像 。A点为物点，A 点为像点， 折线AQQ。Q3QA 定义为系统的伪轴，Q ，Q ，Q。，Q 分别为每块反射镜的顶点。水平面是 AQQ：构成的 平面，垂直面是 Q。QA 构成的平面。 Fig．1 KBA X-raymicroscope 考虑到镜面的加工和使用单位的实际要求 ，设计 图1 KBAX射线显微镜结构示意图 * 收稿 日期 ：2008—09—03； 修订 日期 ：2009—0216