斜入射法检测平面反射镜的面形误差.pdfVIP

激光与光电子学进展 48，071201(2011) LaserOptoelectronicsProgress ⑥2011 《中国激光 》杂志社 斜入射法检测平面反射镜的面形误差 马春桃 罗红心 王 劫 宋 丽 (中国科学院上海应用物理研究所 ，上海光源 ，上海 2O12O4) 摘要 为实现用小 口径面形干涉仪完成对大 口径光学镜面面形的检测 ，发展 了斜入射检测方法 ，增大投射到待测 镜上光斑的尺寸 ，从而增大干涉仪检测的镜面 口径范 围。推导 了斜人射法检测平面反射镜面形 的公式 ，并考虑 了 此方法可能引入的误差 。对尺寸为 124mm ×42mm 的平 面反射镜分 别在垂 直和不 同斜入 射角条件 下进 行 了测 量，垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根 (RMs)和峰谷(PV)值分别为 16．3nm和 67．8nm，斜入射 时测得镜子工作表面的面形起伏高度 RMS和 PV值分别为 16．8am和 68．7nm，相对误差分别为3 和 0．9 ，可 以满足第三代 同步辐射光束线的要求 。 关键词 测量 ；镜面面形 ；斜入射法 ；ZYGO于涉仪 ；斜率误差 中图分类号 TH74l 文献标识码 A doi：10．3788／LOP48．071201 SurfaceErrorMeasurementofPlaneM irrorsBasedon ObliqueIncidence MaChuntao LuoHongxin WangJie SongLi (ShanghaiSynchrotronRadiationFacility，ShanghaiInstituteofAppliedPhysics， ChineseAcademyof Sciences，Shanghai201204，China) Abstract In order to measure the surface shape oflarge aperture plane mirrors by using smallercaliber laser interferometer。obliqueincidencemethodiSdeveloped．Thus．thespotilluminatedon thetestedmirroriSmagnified，andthe sizerangethatthe interferometeracn measure ismuchbigger．Theplane mirror surface shape expression basedon obliqueincidenceisgained．and theerrorsthatmaybe introducedareconcerned．Andaplanemirrorwith sizeof 124mm ×42mm ismeasured usingverticaiincidenceandobliqueincidence withdifferentincidence angles．The surfaceheightrootmeansquare(RMS)andpeak-to—valley (PV)resultsofthetestmirrorare16．3nm and67．8nm basedonverticalincidenceand 16．8nm and68．7nm basedonobliqueincidence．Comparedwithverticalincidence measurementresults，therelativeerrorvalueofRMSiS3％．andtherelativeerrorvalueofPV iS0．9％．Theresult cansatisfytherequirementofthethirdgenerationsynchrotronradiationbeam 1ines． Keywords measurement；surfaceshapeofmirr