非垂直入射HS传感器测量数据的修正.pdfVIP

第42卷 第9期 激 光 与 红 外 Vo1．42，No．9 2012年 9月 LASER INFRARED September，2012 文章编号：1001—5078(2012)09—1031-04 ·光电技术与系统 · 非垂直入射 HS传感器测量数据的修正 徐高平 ，谢卫军 ，余剑敏 ，杨锋涛 ，饶学军 (1．九江学院理学院，江西 九江 332005；2．中国科学院光 电技术研究所，四川 成都 610209) 摘 要：采用变形镜模拟激光镜面热畸变，使变形镜在不同的驱动电压下产生相应的形变，用 Hartmann—Shack传感器作为测量仪器，分别以垂直入射法和非垂直入射法测量了变形镜在各 驱动电压下的形变数据。对比两种方法测得的波前像差峰谷值(PV值)数据发现，非垂直入 射法测得的数据小于垂直入射法测得的真实数据，两者之间的相对偏差随形变量的增大而增 大，且与入射角密切有关，随着入射角的增大，相对偏差明显增大。若将非垂直入射法测得的 数据除以入射角的余弦对数据进行修正，结果与真实数据吻合很好，波前像差PV值最大相对 偏差不到2％。 关键词：波前像差；热畸变；Hartmann—Shack传感器；非垂直入射 中图分类号：0439 文献标识码 ：A DOI：10．3969／j．issn．1001-5078．2012．09．015 CorrectionofHartmann-Shack sensormeasuringdata basedonnon．normalincidencemethod XUGao-ping，XIEWei-jun，YUJian．min，YANGFeng—tao，RAOXue-jun (1．SchoolofScience，JiujiangUniversity，Jiujiang332005，China； 2．TheInstituteofOpticsandElectronics，theChineseAcademyofScience，Chengdu610209，China) Abstract：Inthispaper，adeformablemirrorisusedtosimulateminorthermaldistortioninducedbylaser，whichde— fomr sbydifferentdrivevoltagesappliedtoit．Thedefomr ationismeasuredbyaHartmann—Shacksensorbythemethod ofnomralincidenceandnon—nomralincidencerespectively．Incontrasttothetruepeaktovalleyvalue(PVvalue)of wavefrontabe~ationwhichismeasuredbynomr alincidencemethod，thePVvalueofwavefrontaberrationmeasuredin non—nomr alincidencemethodisless．Therelativedeviationbetweenthem increaseswiththeincreasingofthedefomr a— tion，andcloselyrelateswiththeincidentangle．Withtheincreasingoftheincidentangle，therelativedeviationincrea— sessignificantly．Inordertocorrectthedeviation，thePVdatawhichismeasuredbynon—normalincidencemethod