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第 卷第 期 湖 北 工 业 大 学 学 报 年 月
20 5 2005 10
Vol.20No.5 JournalofHubeiUniversit ofTechnolo Oct.2005
y gy
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[文章编号] ( )
100310-0128-04
数字伺服聚焦非接触位移传感器的研究
邹华东,谢铁邦
(华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉 )
430074
[摘 要]研究了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器,它具有很好的静动态特性.
音圈电机采用两次精确找焦的方法得到焦点的位置,利用数字伺服控制方法,对于不同的材料表面及有一定
角度的表面检测失焦时进行特殊处理,使得该传感器能够精确快速找到焦点.
[关键词]传感器;表面形貌;数字伺服;自动聚焦
[中图分类号] [文献标识码]:
TB92 A
由于接触式测量容易损坏工件表面和磨损测 为零.
头,不适合太软和太硬材质表面的测量,且测量速度
[ ]
慢,所以非接触式测量得到迅速发展 1-3 对于工程
.
表面形貌测量,基于聚焦探测原理的光针式轮廓仪
是一种较理想的测量仪器,国外已研究出类似的产
品,但是价格比较昂贵,且由于测量系统对于有一定
倾斜角的表面的处理方法还不成熟,实际应用受到
局限 通过线切割方法设计的音圈电机,具有重复性
.
高、线性好、响应速度快、无滞后等优良特性使数字
伺服聚焦非接触传感器的精度得以提高.
1 数字伺服聚焦非接触位移传感器原
理
数字伺服聚焦非接触位移传感器主要基于改进
[ ]
的傅科刀口法原理5 ,其测量方法是(图 ):半导体
1
激光器整形及准直后的平行光,经透镜系统聚焦到
待测表面,反射光经过 棱镜 聚焦透镜 分束
BS 、 、
棱镜后,导向聚焦探测器,聚集探测器可以分辨光是
驱动音圈电机找焦的电压值的变化可以转变为
否聚焦在待测物体上面.
位移当量,反映出待测表面的轮廓.
如图 所示,两组光电探测器接收光强信号的
2
差分即为聚焦差信号 当入射光束汇聚在被测工件
. 2 聚焦信号的模型分析
表面上时,聚焦误差信号为零 偏离焦点位置后的探
.
测器的信号经过差分 放大 整形后,经过
、 、
由波动光学理论可知,半导体激光器光束为
AD1674转换成数字信号,传给计算机,这样就得到
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