一种计量型二维精密工作台的探究.pdfVIP

第 卷第 期 湖 北 工 业 大 学 学 报 年 月 20 5 2005 10 Vol.20No.5 JournalofHubeiUniversit ofTechnolo Oct.2005 y gy ================================================== [文章编号] ( ) 100310-0122-03 一种计量型二维精密工作台的研究 廖艳春,谢铁邦 (华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉 ) 430074 [摘 要]研究了一种以计量光栅作为计量标准器的二维精密工作台,以实现表面轮廓测量中的X-Y 方向的 精确定位 重点介绍了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,及工作台闭环控制系统的流程,分析了影响工作 . 台定位精度和速度的因素 系统实现了高速度、高精度和大行程测量的要求 . . [关键词]二维位移工作台;计量光栅;定位控制;误差分析 [中图分类号] [文献标识码]: TB92 A 表面三维形貌检测是获取零件表面形貌特征的 带动丝杠旋转,驱动工作台移动;同时在工作台的另 一种重要手段,也是记录、比较和复制物体表面形貌 一端,计量光栅的测杆接收到工作台的位移信号,控 特征的基础,它在机器视觉、自动加工、工业检测、产 制电路对计量光栅的输出信号进行细分、辨向和计 品质量控制、生物和医学等领域具有重要意义和广 数处理;在软件中计算出工作台的实际位移后,对实 阔的应用前景 对于粗糙度等参数的测量,只要求垂 际位移与目标位移量进行比较,用二者之间的差值 . 直方向的精度,而对于表面轮廓的三维测量则不同, 去控制步进电机的精确定位 对于 工作台的 . X-Y Y 既要求垂直方向的精确测量,还要求水平 X-Y 方向 方向的驱动也是如此. 的精确定位,这样才能真实地测量出表面的基本轮 廓 为此,研究运动平面度与精度高的二维位移工作 . 台是表面形貌测量与评定的基础. 目前,开环和半闭环的工作台依据其较高的加 工精度和良好的性能价格比获得了大量应用,但由 于存在开环环节,使得定位精度的进一步提高受到 [ ] 了限制1 对于开环和半闭环的工作台系统,其定位 . 精度主要靠提高进给丝杠及导轨等构件的精度 但 . 是,丝杠总是存在制造误差,而且会随着使用发生磨 损,因此,就需要采用全闭环控制来解决 为此本文 . 研制了一种新型的精密二维位移工作台,利用计量 工作台采用共运动基面设计,承载工件的工作 光栅为计量标准器,对工作台两个方向的位移进行 台在 、