高效太阳能电池薄膜生长工艺优化模型的研究及其意义.pdfVIP

、l II5 似 高效太阳能电池薄膜生长工艺优化模型 的研究及其意义 A studyongrowthlaw andoptimazaUon processmodelofthinfilm growt hforsolarcells 李桂琴’，陆利新’，叶晓军 ，李红波 ，夏士伟。 LIGui—qin。，LULi-xin。，YEXiao3un，LIHong．bo。XIAShi．wei0 (1．上海大学机自学院，上海200072：2．上海空间电源研究所，上海200241；3．上海欣邦电气有限公司，上海200051) 摘 要：薄膜化是降低太阳电池成本的主要手段和发展趋势，薄膜生长设备研制与通用设备的最大区别 就是要与生产工艺密切配合。本文提出一种用于太阳能薄膜生长的工艺建模新方法，将计算 智能技术与分形理论综合集成，利用计算智能方法提供的混合智能系统及分形理论的数学工 具进行系统描述，建立薄膜生长复杂过程的基本模型，以得到生长过程参数与薄膜宏观性能 之间的定量解析关系。 关键词：薄膜生长；工艺建模；分形理论；计算智能；集成 中图分类号：TP399 文献标识码：A 文章编号：1009—0134(2011)3(上)～0043—04 Doi：10．3969／j．issn．1009-0134．2011．3(t-)．15 0 引言 解决的一个 问题 。国外在研究设备的同时也在 开发新能源和可再生清洁能源是21世纪最具 为该设备的正常合理化工艺作针对性的研究。 决定影响的技术领域之一 ，太 阳能光伏技术是近 现在 国产设备的成膜速率低 ，并且不均匀，究 年来发展最快 、最有活力的可再生能源利用技 其原 因就是在研究设备的过程当中对设备的工 术 。薄膜太阳能电池是第二代太阳能电池，它是 艺参数控制的研究不足 ，这就造成了制造设备 是在玻璃或不锈钢等基板上沉积几微米厚的薄膜 企业生产的设备与工艺的脱节，有的甚至有较 而成，具有成本低、能耗低、单片电池面积大等 大程度 的设计不合理 。工艺稳定性根本不能保 优 点，便于工业化大规模生产 ，成为降低太 阳电 证 ，严重影响产 品质量薄膜生长过程 中存在多 池成本的主要手段和发展趋势。 目标优化 问题 ，如体 现产 品质量的薄膜均 匀 薄膜 的结构和性质与制备工艺 的关系非常 性 、体现生长效率的镀膜速率等 ，这些需求之 密切 ， 目前认为 以辉光放 电法制备的非晶硅膜 间存在相互矛盾与制约。 质量 最好 ，即在辉光 放 电装置 中 ，利用 反应 薄膜生长过程最佳参数的确定需要大量的工 气体 在等离子 体 中发 生分解而 在衬底上 淀积 作，过去常常通过反复试验，或依靠经验来解决 成薄膜 。等离子增强化学气相沉积 (Plasma 这类 问题 。PECVD技术沉积薄膜 的过程是一个 Enhanced Chem iCalVapOT DepOSition， 非常复杂的物理化学过程 ，涉及等离子体化学反 PECVD)作为薄膜生长的核心设备，它的制备 应 、热力学和动力学原理 的复杂过程 ，已超 出了 工艺条件 ，如衬底温度、射频 电源 的功率、工 平衡热力学和动力学理论范 ”，是非线性、多层 作气压、不 同气体的比例、气体的流速等都对 次、随机 的、不确定性等多种复杂特性的组合 。 薄膜 的生长速率 、成分 、结构 、物理性能等有 其反应室 内部 电极 间电场 、流体场 、温度场等 的 较大