热蒸发沉积法制备多足状ZnO及其生长机理地研究.pdfVIP

热蒸发沉积法制备多足状ZnO及其生长机理的研究宰 谭天，刘 毅，宋雪梅，王波，严辉 (北京工业大学材料学院，薄膜材料实验室，北京100022) 摘要： 利用热蒸发沉积方法，使用高纯zIl粉为原料 示。实验过程中将29高纯锌粉(99．99％)作为蒸发源， (99．99％)，在常压下，成功制备了多针状的zrlo微 结构．当沉积气氛为纯氧气时，多针znO单支的直径尺 寸在2“m左右，通过调整m和02的比例，发现当蒸发 源温度为800℃，气体流量控制在心：02=0．5L，珏liIl： 和乙醇溶液中各超声清洗30miIl，放置在距离蒸发源不 0．1I／min的时候，所制备的多足状zIlO的单支直径减小 同的位置来获得不同的衬底温度。实验时炉温以lO℃ 为400岫。采用Ⅺ①和SEM对样品进行了表征，并对 形成这种多针状znO的生长机理进行了详细的讨论． ，min的速度升到指定温度并保温一定时间，之后随炉冷 关键词： 热蒸发；多针状氧化锌；生长机理 却至室温，衬底表面出