Ir薄膜的化学气相沉积制备与SEM研究.pdfVIP

第 卷 增 刊 有 色 金 属 ， 18 DF 4 18 .-==*5*+G 年 月 ’ 2 2 ’ 0 AIAO$PPIQ# % $6 (R# S-T ’ 2 2 ’ ! 薄膜的化学气相沉积制备及 #$ % 研究 胡昌义 ，李靖华 ，王 云 ，万吉高 ’ 钱 旭 ，高逸群 ，邓德国 ，尹志民 （ 贵研铂业股份有限公司，昆明 ； 中南大学，长沙 ） ! #$%! ’!%%() 摘 要： 以乙酰丙酮铱为沉积源物质，采用化学气相沉积法在金属钼基体上制备铱薄膜，研究基体加热温度对铱薄膜沉积速 率的影响。发现铱在钼基体的生长规律不符合()*+,-. 公式，当 低于 时， 随 的上升而直线增加；而当 高于 ! .-/ 012 3 ! .-/ ! .-/ 时， 则随 的上升而呈直线降低， 值在012 3 时达到最大。#$ % 研究表明，铱薄膜以约2 4 5 的颗粒沉积生长，表面 012 3 ! .-/ ! 形貌与钼基体表面加工痕迹相对应，铱薄膜中的氧含量与沉积过程通入的氧气流量有关。 关键词： 铱薄膜；化学气相沉积； #$ % 中图分类号： ; ； 文献标识码： 文章编号： （ ） 6 789 4 : 8 6 708 4888 ( 22 2’ ’22’ .-== 22:: 28 贵金属铱具有较强的抗氧化性能、催化活性和 的钼基体表面，乙酰丙酮铱发生热分解反应而使铱 较高的熔点，是较好的高温保护涂层材料和催化材 在钼基体表面沉积下来，得到银色铱薄膜。通入的 料。近 年来，美国航空航天局（ ）一直在进 氧气与乙酰丙酮铱分解产生的碳反应生成一氧化碳 ’2 A(#( ［］ 或二氧化碳，反应的气相产物不断被真空泵排出沉 行铼 铱高温发动机的研制开发 ， 年铼 铱发 B ’222 B 动机已应用于空间飞行器，成功实现上天飞行，这是 积室。薄膜厚度采用精度为 5 的螺旋测微计测 ! 铱作为高温涂层的典型应用。A(#( 以乙酰丙酮铱 量。 为沉积源物质，以钼作为铱的沉积基体，采用 CDE ! $ 试验条件 法制备铱涂层，但未见有关铱的沉积动力学规律的 基体加热温度的变化范围是122 3 J @22 3 ；钼 ［ ］ 研究报道。近年来，日本的7FGF ’ 8 等人以