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2017-10-09 发布于广东
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PECVD培训教程课件.ppt

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ＰＥＣＶＤ工序培训教程2007;第一部分：安全知识氨气泄露紧急;2.中毒症状：眼接触：暴露在氨;3.急救措施：眼睛接触：用大量;呼吸系统的保护：当进入大规模泄;5．消防措施：立即撤离受影响的;高温或火焰时，若钢瓶的释压装置;⑶皮肤接触：硅甲烷会刺激皮肤，;⑵皮肤接触: 脱掉受污染衣服，;4．消防措施：迅速撤离泄漏污染;5．个人防护设备：⑴呼吸防护：;6．泄漏紧急处理：疏散所有人员;第二部分：工作流程及操作一、工;反应如下：3SiH4+4NH3;3.工艺方案工艺内容包括：射频;B.设备准备确认设备正常运行,;2、工艺操作1.手动装片戴好清;3.工艺循环重复2的操作，按;5.手动取片首先用镊子轻压硅片;九.安全操作1.员工须经相关专;工作流程 1.班前会留出必要人