李程鑫-材料科学与工程专业答辩.pptVIP

2.研究方法 多层渐变结构TiMoAlON光热吸收膜的制备及性能表征 专 业：材料科学与工程 班 级：材料083班 姓 名：李程鑫 指导老师：武 涛 副教授 1、研究背景、目的及工艺 3、实验结果及分析 2、研究方法 4、结论 研究背景 1. 研究背景、目的及工艺 随着经济的日益发展，人们对于能源的需求不断提高，太阳 能作为一种取之不尽，清洁无污染的新型能源，近年来一直 备受人们的关注。 而光热转换薄膜作为太阳能光热转换中的关键一环，越来越 受到人们的重视。其中，多层渐变结构薄膜由于其更好的光 学吸收性能而尤为引人注意，本次实验在原有的TiAlON薄膜 基础上进行了进一步的改进。 研究目的与工艺 研究目的：1、能否制备出多层渐变结构TiMoAlON薄膜？？？ ？ 结构 性能 大气环境不同温度下退火8h 450℃ 500℃ 550℃ 成分 加入减反射层（Al2O3） 和高红外反射层（Ti） 吸收层 掺Mo 2、所制备出的薄膜是否可以作为非真空下的光热薄膜 加以应用？？？ TiAlON薄膜 薄膜结构分析 薄膜的 化学成分 薄膜光学性能分析 TiMoAlON薄膜制备及退火处理 紫外-可见-近红外分光光度计 法向发射率仪 方块电阻 EDS SEM TEM 薄膜的化学组成 薄膜的微 观结构 反射率 热发射率 薄膜电阻 3.实验结果及分析 图 3-1 沉积态TiMoAlON薄膜的断面形貌 3.1.1 薄膜的整体结构 可以清晰的看到薄膜呈现出四层结构： （1）高红外反射层 （2）主吸收层 （3）次吸收层 （4）减反射层 3.1 沉积态薄膜的表征 S 图 3-2 不沉积态薄膜截面的透射图像 Layer 4 Layer 1 Layer 2 Layer 3 S 与SEM断面形貌互相印证 薄膜的4层整体结构； 每层之间的界面处衬度变 化不明显，呈现出明显的 过渡，表明了薄膜各层间 存在渐变。 3.1.2 薄膜的化学组成 3.66 14.73 12.16 50.44 19.02 试样A 10.67 71.02 0.17 1.92 16.22 试样B Mo Ti Al O N 表3-1 吸收层与完整薄膜的各元素原子百分比(%) 薄膜吸收层的主要成分为Ti、N和Mo； 薄膜减反射层的主要成分为Al和O。 图3-4沉积态完整薄膜XRD衍射图与标准物相衍射峰 3.1.3 薄膜的物相构成 TiMoAlON薄膜的主要物相是(Ti,Al)(N,O) ，沿（111）晶面发生择优生长。 薄膜中掺加的Mo以Mo单质晶体的形式存在于薄膜中 减反射层中的Al2O3未 出现衍射峰，应以非晶形态存在。 0.2240nm 0.1501nm 1号斑 2号斑 4号斑 3号斑 图3-5 薄膜截面某区域的TEM图像 图3-6 薄膜电子衍射图样 Mo以单质晶体的形态呈层状弥散分布在薄膜的吸收层中。 吸收层中含有TiO。 3.1.4 薄膜的光学性能 图3-7 TiAlON吸收层与试样B对不同波长光的反射率 掺加Mo后的吸收层光吸收性能较之前显著提高； 在主要吸收高能区，实现了吸收峰（反射谷）的宽化； 薄膜反射率在1000nm后，随波长增大而逐渐增高，起到过渡作用。 图3-8 沉积态吸收层和完整薄膜对不同波长光的反射率 试样A在主要吸收范围内的吸收性能稳定，反射谷消失； 在主吸收区内反射率普遍增高，整体吸收性能较试样B降低。 疑问： 是否加入的减反射层结构不完整？？？ 是否因溅射设备限制，减反射层中含有过量的Al？？？ 3.2 退火处理对薄膜的影响 （a）沉积态 （b）450℃退火 （b）500℃退火 （b）550℃退火 图3-9 试样A退火前后表面/断面形貌对比 3.2.1 结构完整性 5.04 5.03 3.77 3.66 Mo 14.15 13.73 14.09 14.73 Ti 10.7 10.35 8.85 12.16 Al 69.55 69.45 64.03 50.44 O 0.58 1.43 9.26 19.02 N 550℃退火 500℃退火 450℃退火 试样A 　 3.2.2 化学成分 表3-2 EDS测得的薄膜的原子百分比的变化(%) 退火前后薄膜的金属/非金属元素的原子百分比 为0.387和0.313，说明退火处理后薄膜更加偏向 于向非金属特性。 3.2.3 物相结构 图3-9 不同退火处理后太阳能吸收薄膜的XRD图谱 从图中可知，退火后 薄膜中原有的晶体物 相未发生变化，没有 新的晶体的出现，薄 膜中各晶体的择优生 长也未发生变化。 说明，薄膜中的晶体 在高温氧化环境中具 有很好的稳定性。 3.2.4