CVD金刚石薄膜的宏观织构与显微组织研究.pdfVIP

CVD金刚石薄膜的宏观织构与显微组织研究 陈冷张建升毛卫民 (北京科技大学材料学系，北京100083) 擅要：对直藏电瓤菩高子喷射化学气相沉袈法(CVD)铡关，长期以来，金刚石薄膜的显微组织研究一直为人 备的自文撵盎剐石薄膜。用x射巍衍射测量了薄膜宏观织 们所关注。文献[2]对CVD金刚石薄膜的成核与 构，用扫描电境观察了薄膜曼散组鳃。发现金刚石薄膜的宏 生长机制、性能和应用等进行了全面总结。同时，金 观织杓为i110}、{111}、f112f和{221}辱纤维轵构i实验结 刚石薄膜是一种多晶材料，在生长过程中，金刚石薄 采表明．叠剐石薄膜比较袭密并且晶_}酵比较完整．不圊生长 膜的晶粒取向会对其显微组织。进而会对其相关性 园子对应不同立方体一八面恽几何形状。分析和讨论了叠刚 能产生重要的影响”。1。因此，金刚石薄膜的宏观 石薄膜的制备工艺参教如衬_j亳温度和甲烷浓度对其宏观织 构和显徽组织产生影响。 织构和显微组织以及相关问题的研究具有重要的意 关键词：盎刚石薄膜；宏观织构；显擞组织 义。本文用扫描电镜和x射线衍射仪对用直流电 弧等离子喷射CVD方法制备的自支撑金刚石薄膜 的宏观织构和显微组织进行了研究，分析和讨论了 ot textureandmicrostructure Investigation 金刚石薄膜的制备工艺参数如衬底温度和甲烷浓度 inCVDdiamondf王lms 对其宏观织构和显微组织产生的影响。 CHEN Welmin Jlansheng。MAO Leng，ZHANGI of Sdenceand (Dep●mml“MatetiaJs．University 1实验方法 Technology Beijlng．Beqingl000S3) Abstract·‰gextttfeandmic舢ctuxe diamondfi]ms of矗托一standing 用100kw级直流电弧等离子喷射CVD方法沉 which DCare ehemiead ve砖synthesizedby pIMmejet vapordeposition 积金剐石薄膜，衬底为Mo，混合气体为cH／H，／Ar， ditlrsctometer∞delectron (CVD)㈣investigatedbyX-ray scanning isfoundlh“thet“tu∞0fdumoedfilm*con—P具体工艺参数如表1所示。沉积后，由于金刚石薄 micmeeopy(SEM)．h ted fibre of{110I．1lllI，{112}and1221j component．Theexperi- 膜与衬底的热膨胀系数不同，导致金刚石薄膜自动 m蜘叫I捌正hindleastethatthediamondill==i辨den●eandwell crystal-