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微细电解线切割加工模型分析 与试验研究 王昆1 ，朱荻2 (1．同济大学 机械工程学院，上海201804；2．南京航空航天大学 机电学院，江苏 南京210016) 摘要：微细电解线切割加工是一种微细加工新方法。由于原理上阴极不会损耗采用微米级直径的电极丝μm左右的微型桨叶结构。试验结果表明，微细电解线切割加工技术能为特殊性能材料的微细加工提供有效的新途径。 关键词：微细电解线切割加工；线电极；理论模型；试验研究 中图分类号： TG662 文献标识码：A THEORETICAL MODEL AND EXPERIMENTS OF WIRE ELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING WANG Kun1, ZHU Di2 (1. College of Mechanical Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China; 2. College of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) Abstract: Wire electrochemical micro-machining (WEMM) is proposed as a new method of precision machining in this paper. Because of no electrode wear in this process the micrometer scale metal wire can be used as the wire electrode in WEMM, and the micrometer or tens micrometer structure can be fabricated. Base on the principle of electrochemical, the mechanism of wire electrochemical micro-machining is investigated, the theoretical model of the method is founded and the top limit of feed speed of the micron scale wire electrode is studied. Effects of process parameters on the machining accuracy in the electrochemical micro-machining have been studied theoretically and experimentally, and micro blades with the slit width of 20μm is machined. It is proved experimentally that WEMM can provide a new effective manufacturing method for machining high-performance materials. Key words: wire electrochemical micro-machining; Wire electrode; Theoretical model；Experimental research (微细加工技术是本世纪最活跃的科学研究方向之一。金属材料的微细加工有着广泛的发展需求。在某些微器件中，为了提高性能或者得到特定性能，需要采用金属微部件代替硅结构来实现高反射率、高质量密度、低电阻率、特定强度要求以及特殊形状的结构。现有的金属材料微加工技术还存在很大的局限性，不能满足发展的需求，发展新的金属材料微细加工技术是非常重要和迫切的。 微细电解加工是基于电化学离子去除原理来微量溶解工件的技术，理论上可以达到纳米级的加工精度，具有高效、低成本、与材料硬度无关等原理上的优势在方面在着巨大的发展潜力国外此方向非常重视，发展很快但也处于起步阶段。维复杂形状微小零件μm左右的微细结构。但是，文献[6] 微细电解线切割加工是利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理，通过线电极的数控运动将工件切割加工成形的。当采用超短脉冲电流时，加工间隙可缩小到微米级，可加工维复杂形状、高深宽比的微小零件 金属电极在电极反应过程中会发生电化学极化和浓差极化，它们都是影响加工间隙大小的重要因素。当采用纳秒脉宽的脉冲电源进行电解加工时，由于电流持续