MEMS设计系统中部件库的定义、描述和原型系统的实现.pdfVIP

文章编号：1001—9944(2005)07—0001--05 M EMS设计系统中部件库的定义、描述与原型 系统的实现 谭宜勇，卢桂章，赵新 (南开大学机器人与信息自动化研究所， 天津300071) 摘要：针对MEMS设计中设计重用、机械性能评测等问题，提出了包括工艺模型、三维形 状以及动态规律等重要信息的部件库系统。文中首先描述了MEMS设计系统中部件及部件 库的定义和内容。并根据MEMS器件设计的特点，设计了易于重用管理的部件之间的层次 结构关系；接着用面向对象的方法描述了部件库内容，并举出了从部件库出发自底向上设 计虚拟微泵的形式化描述的例子，验证了部件库设计的可行性；最后，建立了具备查询、 插入和更新等操作功能的面向对象的存储库，该存储库能够和MEMS设计系统[1】的其它模 块建立连接关系。 关键词：微电子机械系统；部件库；虚拟运行；虚拟现实 中图分类号：TN403文献标识码：A i