VHF／UHF晶体滤波器的进展.pdfVIP

6卜 i 维普资讯 992年第 3期 ▲ -■ 宇航计测技术 总第 63期 VHF ／UHF晶体滤波器的进展 吴 惠 军 17l (航空航天部 二院二0=所) 文 摘 简要评述_r近几年来VHF／UHF晶体滤波器的进展，讨论了VHF／UHF谐 振器的特点 V!{F／t-Hr晶俸滤波器的性能， 及SAW晶体滤波器和谐振器性能的比较。 主题词 墨垒婆选星， ， ，堕量墅没计 一 、 引 言 随着通迅技术的发展，可用的射频频段越来越挤，因此通迅频段势必向更高的方向发 展 例如在分格式无线电台 通迅中继移动电台 边带电台 数字电话增音机 超小型呼 叫接收机，以及导航 ，高速逻辑系统，都需要使用 vH ／UHF晶体滤波器，来满足上 述要求。如果用早先的倍频方块，势必增加电路的复杂性 体积 重量和功率耗散等。如 将谐振器的基频提高，则可改善上述缺点，同时，减少 j，由倍频引起的噪声。由于每增加 一 次倩频，相位噪声要增加 6dB，因此基频的提高，改善了整机的性能。 80年 以前，田丁滤波晶体工艺的限制，通常基频只能做到 30MHz，经改进的研磨机 可加工到 50MHz 当时要设计 VHF晶体滤波器，必须利用三次或五次泛音晶体，这时 频率可以达到 200MHz 但是随着泛音次数 n的提高，滤波晶体的带宽M(apcI／ )明 显地减小。在设计滤波器时，就必须加展宽线圈，这样不但增大了滤波器的体积，同时降 低 了滤波器的性能 70年代 中后期，石英晶体元件在工艺 有了突破，用离子刻蚀法， 谐振器的基频可达 500MHz，之后不久采用化学腐蚀法，基频可达 200MHz，到 1985年 左右，利用这两种方法都可将谐振器加工到基频为 1000MHz左右或更高 … ”。 ● 随着谐振器基频的扩展， 目前晶体滤波器 (基频)可 以做到 200MHz左右 (基频)， 譬 三次泛音可 以做到 670MHz,LiTaO3宽带滤波器可达 240MHz )。尽管已制成低次泛 音的UHF晶体滤波器，但泛音晶体的阻抗比基频大好兀倍，因此滤波器的输入阻抗就要 增大，这样就要增加阻抗匹配网锚，、滤波器的体积和重量随之就会增大 虽然谐振器的基 频可以撇得很高，但在满足滤波器的实用上，能成批生产成本低，性能较好的这类滤波器 还处于 vHF的下 艇区； ‘ - ’ ’ ． 二、VHF，UHF谐振器的特点 提高石英晶体元件基频频率 的方法，．有离子刻蚀、化学腐蚀、等离子刻蚀等方法，目 前丰要采用前两种方法 一 69 维普资讯 1．离子刻蚀法的优点 对刻蚀晶体片 (AT、BT和 SC)的表面一致性好；对某一种切型来说，刻蚀率 的重 复性好；对石英和铌酸锂的刻蚀质量基本一致 (刻蚀率略有差异】；刻蚀面积足以制造一 对耦台谐振器；在镀膜电极区域内，刻蚀晶体片的平行度和平面度 良好；泛音晶体的Q， 值高；采用反应式离子刻蚀技术，刻蚀效率可提高 5倍，其表面质量与一般的离子刻蚀相 同。但是，尽管一次可以刻蚀几十块片子，由于总的刻蚀效率还很低，因此成本较高。 2．化学腐蚀法的特点 J”【