低温等离子体增强化学气相沉积技术制备碳纳米管.pdfVIP

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低温等离子体增强化学气相沉积技术制备碳纳米管.pdf

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41 4 Vol.41, o.4 VACUUM 2004 7 Jul. 2004 低温等离子体增强化学气相沉积技术制备碳纳米管 李社强, 江 南, 王太宏 ( , 100080) : , ( PECVD) , 800 , 400 , , , , , , : ; ; ; :TB383; TB43:A : 1002-0322(2004) 04-0040-07 Growth of carbon nanotube by PECVD LI She-qia g, JIANG Na , WANG Tai-ho g (I nst

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