基于有限元分析的石英晶体微天平电极结构优化设计.pdfVIP

33 6 () ol. 33 No. 6 2009 12 Journal ofNanjing University ofScience and Technology (NaturalScience) Dec. 2009 蒋海峰, 薄煜明 ( , 210094) :针对某些电极结构会破坏石英晶体微天平厚度切变振动模态单一性的问 , 该文提出 了基于有限元分析优化设计电极结构的方法该方法直接对原始问 的机电耦合进行三维分 析,计算出更加准确的设计参数基于有限元分析软件ANSYS10. 0对石英晶体微天平进行三 维建模,验证了建模的正确性, 并对不同电极结构尺寸进行仿真计算, 对出现的耦合情况进行了 分析, 通过实验结果对比, 提出较佳电极尺寸结构为厚度 100 nm, 半径 3 mm; 为解决金电极能 陷效应不够理想的问 , 提出在晶片上下表面筑平台的设计, 有限元计算结果表明此设计能改 善电极区的能陷效应,