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§7.4 半导体气敏器件 器件要求 器件形式 氧化物半导体气敏元件 表面电阻控制型气敏器件 烧结型气敏器件 体电阻控制型气敏器件 半导体气敏器件的参数 器件电阻R0： 温度和催化剂对器件的影响 温度与灵敏度 催化剂 常见陶瓷气敏元件 结构 半导体气敏二极管 MOSFET气敏器件 Pd栅MOSFET H2探测器 CO MOSFET检测器 差动式集成气敏MOS器件 超微粒多功能集成化气敏器件 应用 §7.5 半导体离子敏感器件 离子敏感器件由离子选择膜和转换器两部分构成，以场效应晶体管为转换器，以其绝缘栅及特制于绝缘栅上的膜为敏感膜，构成离子敏场效应管（ISFET）。 基本工作原理 能斯脱（Nernst）方程 工作原理 表面基模型 ISFET器件结构 敏感膜的类型 绝缘栅的作用： 敏感膜的类型 无机绝缘膜 固态膜 玻璃体膜 有机高分子膜 ISFET的参数 响应特性 阶跃响应特性与可逆特性 灵敏度S 响应时间 生物膜敏感器件 生物膜敏感器件（BIOFET）又称电化学敏感器件，其敏感膜由生物或生物体内的组织构成，主要包括酶、微生物、抗原/抗体、器官细胞等。 由于不同的酶仅对一种物质催化反应，因此其选择性很高。 目前已经研制成功的有：葡萄糖FET、青霉素FET、尿素FET、乙酰胆碱FET等多种器件。 多功能集成ISFET 离子与生物敏感器件在实际中的应用 医药学 血液、尿