压阻式压力传感器零点输出和其温漂研究.pdfVIP

压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究 许东华，林惠旺，张兆华，谭智敏，刘理天 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘要：零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点 分析了零．最输出的产生机理，并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差 造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后，给出了 一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。 关键词：压阻式；压力传感器；零点输出；零点温漂 ResearchofOffsetandIts Driftof Temperature PiezoresistivePressureSensor XU Li—tian Hui—wang，ZHANGZhao-hua，TANZhi—min，LIU Dong-hua，LIN (Institute 100084+Chirm) ofMicroelectronlcs，7sin加撕University，Beijing the Abstract：Offsetandits driftare insensorfabrication．The temperature importantparameters mechanismand ofoffsetwasdescribedwiththe Sell- analysis quantitative piezoresistivepressure arefour in and caused sor．There all：connectionmismatch，stress aspects wiring bymultiplelay- error ers，resistormismatchcaused randomandothereffects，whoseinfluenceon bylithography offset driftwasalso full flowwas for temperature analysed．Finally，adesign providedcontrolling offsetand improvingyield offset drift Keywords：piezoresistivelpressuresensorl output；offsettemperature 近，孙以材等人嘲又从电阻反向电流的角度分析了 1引言 零点温漂。但以上分析均基于传感器制作时不存在 压阻式压力传感器由于制作工艺简单、灵敏度 连线寄生失配和材料完美匹配不存在残余应力的假 高、线性度好、后续处理电路简单易行而得到了广泛 设，从而忽视了制作中引起