纳米颗粒SiO2光学薄膜的制备和结构控制.pdfVIP

2002年上海市颗粒学会年会论文集 87 i 纳米颗粒S0。光学薄膜的制备与结构控制木 吴广明术木，沈军，杨天河，周斌，倪星元，王珏 (同济大学波耳固体物理研究所，上海200092) **Tel：021E-mail：gmingwu@online．sh．cn 摘要：本文报道了一种新的快速、方便、有效实现纳米颗粒SiO。薄膜结构人r控制、折射率 连续调节的方法。在溶胶一凝胶基础上，采用碱、酸一步法以及碱／酸两步法和浸渍镀 膜技术制备了纳米颗粒Si02薄膜。使用透射电镜、扫描电镜、原子力显微镜、椭偏仪 等方法测量和分析了薄膜的特性。实验结果给出从碱一步法、碱／酸两步法、到酸一步 法形成的薄膜，SiO。颗粒变小，孔隙率降低，折射率从1．18连续增加到1．41。这些结 果表明，碱／酸两步法能方便、有效地连续控制纳米颗粒SiOz薄膜的结构；实验条件对 薄膜特性的影响起因于纳米颗粒结构的变化。 关键词：溶胶～凝胶技术；纳米颗粒；薄