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( ) 622 功 　能　材 　料 2003 年第 6 期 34 卷 Ⅱb 型金刚石单晶的制备和半导体特性研究进展 1 1 1 ,2 1 1 宫建红 ,李木森 ,许 　斌 ,尹龙卫 ,崔建军 ( 1. 山东大学 材料科学与工程学院 ,山东 济南 2500 16 ;2 . 山东建筑工程学院 材料科学与工程系 ,山东 济南 2500 14) 摘 　要 : 　 Ⅱb 型金刚石由于具有极佳的半导体性能 ,适合于制 宽 。对于具有半导体性质的 Ⅱb 型金刚石在高温高压条件下的 造高性能电力电子器件 ,可以在更高的温度和恶劣的环境下正 合成工艺及其半导体特性的研究不仅具有重要的学术意义 ,而 常工作 ,是一种有发展前途的高温 、大功率半导体材料 。本文从 且有很高的实际应用价值 。本文综述了高温高压下合成的 Ⅱb 结构 、合成方法 、半导体特性和应用等方面阐述了 Ⅱb 型半导体 型金刚石的微观结构 、合成方法 、半导体特性和应用等方面的最 金刚石的研究现状 ,在此基础上提出了今后的研究方向。 新研究进展 ,并在此基础上提出了该研究领域今后的发展方向。 关键词 : 　人造金刚石 ;半导体性能 ;硼 2 　 Ⅱb 型金刚石的结构 中图分类号 : 　TN304 　　　　文献标识码 :A ( ) 文章编号 :100 1973 1 2003 2 . 1 　金刚石的分类与性质 金刚石可分为 Ⅰ型和 Ⅱ型两类 ,这两类金刚石又可分为 a 、 1 　引　言 ( ) b 两个亚类 。公认的分类依据是杂质 如氮等 含量和存在形式 近年来人造金刚石的生产及应用技术发展很快 ,金刚石及 及某些物理性质的不同[ 8 ,9 ] 。 Ⅰa 型金刚石通常为无色或黄色 , 其制品不仅广泛应用于机械 、电子 、地质 、冶金 、石油 、建工 、建 含氮在每立方厘米 1020 个原子以上 ,并且氮以片状形式存在 ,片 材 、化工 、轻工 、水电、交通 、国防等各个工业技术领域 ,而且已拓 状氮影响了金刚石的光学和热学性质 ,但使其机械强度得以提 展到高性能耐热件 、耐蚀件 、导热元件和芯片等极端条件下的重 高 ,约 98 %的天然金刚石属于此类 。 Ⅰb 型金刚石的固有颜色 要领域 。 为黄色 ,含氮量为每立方厘米 1017 ～1020 个原子 ,氮出现在孤立