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引用推荐:FFU/洁净棚 /
百级洁净棚/baijijiejingpeng/
姥々 弦峙壹,吨}盔.≯鼍.
百级层流罩/baijicengliuzhao/
当前我国洁净工程建设中的若干问题
中国建筑科学研究院空调研究所 !生 __一“鲁 .‘
1,
f 0 一 ”r
我国的洁净工程建设起步于5O年代末 60 已有 20万 Ⅱ 现 已出现 0.1umO级洁净室 ,
年代初,现在已经从撤退苏联专家和三线建 至于洁净室的规模,86年 日本在长崎建成的
设时的神秘的和几乎高不可攀的情况发展到 洁净厂房总面积达 19250m2,很大一部分是 10
从军工走向民用,从高精走向普及的状态。这其 级的,87年三洋新写工场建成的 1O级洁净
中从 1978年出版指导洁净工程建设的第一 室达 3000m~,美国在台湾的TSMCS半导体
本技术文献 《空气洁净技术措施》,到 1984年 新厂建成新一代 1万 的洁净车间,是 目前
出版第一本 国家规 范:《洁净 厂房 设计规 世界上最大单个洁净室,而我国最大单间百
范》,再到 1992年出版第一本行业标准 《洁净 级的只千余 m 左右。
室施工及驻收规范》,以及这几年众多部门 1991年,我在江苏省暖通年会上发表了
出版了自己的洁净工程的标准规范,诸如航 以下分析数据:
天、人药、兽药、生物制 品、动物饲养、药品包 9o年 日本包括洁净工程的净化产值 35
装、手术室、护理单元等,这就使我国的洁净 亿美元,只占当年国民生产总值 2,45万亿美
工程建设逐渐走向规范化,并和国际标准接 元的千分之 1.5:我国当年净化产值约 2~3
轨,以致有 的洁净工程走出了国门。 亿元,占国民生产总值 1.74万亿元的万分之
虽然如此,我国的洁净工程及相关产品 1.5。90年我国生产的集成 电路仅为 日本的
的规模和发达国家相比,还有极大差距,而这 1/100.似乎巧合,上述净化产值约 3~4千万
也正是我国洁净工程可望大发展的余地, 美元,也是 日本的 1/100。96年,我国的国 民
还在 1988.美国的0,1umlO级洁净工程 生产总值达到6万多亿元,如果能像 I:1本那
及相对湿度如表 1。 动 静密封圈之问仍存在漏风现象,建议生产
为控制室温不要过于升高,可适当开启 厂家改进,同时在出厂前应进行单机}生能澳 式。
循环机组表冷器的水阀。 2、本系统完全采用手动调节,结果给运
其 它参数测试结果为:洁净度平均为 行控制带来了难度,需要运行管理人员熟练掌
12—15个 /立方英尺,最高点为43个 /立方 握并随时进行调节,比较麻烦,稍不周到,室
英尺(/0.5微米),噪音为64—66分贝;相对 温过高或过低室内相对湿度就会产生较大的
于相邻房间的正压值 5Pa。由此可见,本工 变化,因此,对于此类项 目宜设简单的自控用
程基本上满足了设计要求。 室温控制循环机组的水阀。
七 问题讨论 八,结束语
本系统虽然基本上达到了用户的使用要 有关干燥洁净室的设计 施工与调测点
求,但仍有一些问题需在 同类工程中注意克
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